南方科技大学汪飞获国家专利权
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龙图腾网获悉南方科技大学申请的专利气体传感器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115340063B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210929192.9，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权气体传感器及其制备方法是由汪飞;李明杰;罗文昕设计研发完成，并于2022-08-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本气体传感器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种气体传感器及其制备方法，涉及传感器技术领域。一种气体传感器的制备方法，包括：将气体敏感颗粒与光刻胶混合，获得气敏光刻混合材料；提供晶圆，晶圆包括多个微传感区域；于晶圆上旋涂气敏光刻混合材料；将气敏光刻混合材料图形化，以保留位于微传感区域内的气敏光刻混合材料形成初始气敏层；去除初始气敏层中的光刻胶，以保留初始气敏层中的气体敏感颗粒形成气体传感器的气敏层。上述气体传感器的制备方法实现了将气体敏感颗粒精确加载到指定的微加热区域，有利于实现气体传感器的生产效率和良率的共同提升。
本发明授权气体传感器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种气体传感器的制备方法，其特征在于，包括： 将气体敏感颗粒与光刻胶混合，获得气敏光刻混合材料；其中，所述气体敏感颗粒为：水热化学法合成的二氧化锡纳米颗粒； 提供晶圆，所述晶圆包括多个微传感区域； 于所述晶圆上旋涂所述气敏光刻混合材料，所述气敏光刻混合材料至少覆盖所述微传感区域； 将所述气敏光刻混合材料图形化，以保留位于所述微传感区域内的所述气敏光刻混合材料形成初始气敏层； 去除所述初始气敏层中的光刻胶，以保留所述初始气敏层中的气体敏感颗粒形成所述气体传感器的气敏层； 所述光刻胶包括正性光刻胶；所述初始气敏层中的光刻胶去除方法包括： 采用管式炉烘烤形成所述初始气敏层后的所述晶圆；其中，烘烤温度的取值范围为600℃±100℃，烘烤时间不小于6小时； 在形成所述气敏层及其他层结构之后，通过划片或者切割晶圆的方式获得气体传感器； 所述气体敏感颗粒在所述气敏光刻混合材料中的质量百分比浓度为：4wt%-5wt%。
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