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龙图腾网获悉卡尔蔡司SMT有限责任公司申请的专利由光瞳内的照明光照明时光学系统的成像质量的确定方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115406627B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210599990.X，技术领域涉及：G01M11/02；该发明授权由光瞳内的照明光照明时光学系统的成像质量的确定方法是由M.科赫;R.卡佩利;K.格沃希;D.希马科夫设计研发完成，并于2022-05-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本由光瞳内的照明光照明时光学系统的成像质量的确定方法在说明书摘要公布了：为了确定光学系统的、在由光学系统的待测量光瞳内的照明光照明时的成像质量和或为了确定测试结构的相位效应，在光学系统的物平面中初始地布置在至少一个维度中周期性的测试结构。指定用于用初始光瞳区域照明测试结构的初始照明角度分布，初始光瞳区域的面积小于总光瞳面积的10％，并且由此在相对于物平面的不同距离位置中照明测试结构。以此方式，确定测试结构的初始经测量空间像。然后针对另外的照明角度分布重复指定照明分布、照明和确定空间像，并且从经测量空间像的比较来确定光学系统的成像贡献，从成像贡献来确定待确定的成像质量参数和或测试结构的复数值衍射光谱。

本发明授权由光瞳内的照明光照明时光学系统的成像质量的确定方法在权利要求书中公布了：1.一种用于确定光学系统的、在由所述光学系统的待测量光瞳22、24内的照明光1照明时的成像质量和或用于确定测试结构的相位效应的方法，包括以下步骤： -在所述光学系统的物平面4中布置在至少一个维度x；x，y中周期性的测试结构5， -指定用于用所述照明光1照明所述测试结构5的初始照明角度分布所述初始照明角度分布表示为连续的、完全照明的初始光瞳区域19，其面积小于所述光瞳22、24的总光瞳面积的10％， -在所述测试结构5相对于所述物平面4的不同距离位置z处以所指定的初始照明角度分布照明所述测试结构5， -使用空间分辨检测装置25在所述光学系统的像平面26中测量所述照明光1的强度，用于确定所述测试结构5的初始经测量空间像当在每个距离位置z对所述测试结构5进行成像时，所述照明光已经由所述光学系统引导， -指定用于用所述照明光1照明所述测试结构5的另外的照明角度分布所述另外的照明角度分布表示为连续的、完全照明的另外的光瞳区域19，其面积小于所述光瞳22、24的总光瞳面积的10％，其中所述另外的光瞳区域19不与初始光瞳区域19重叠, -用所指定的另外的照明角度分布在所述测试结构5相对于所述物平面4的不同距离位置z处照明所述测试结构5， -使用所述空间分辨检测装置25测量所述光学系统的所述像平面26中的所述照明光1的强度，用于确定所述测试结构5的另外的经测量空间像当在每个距离位置z对所述测试结构5进行成像时，所述照明光已经由所述光学系统引导， -从所述经测量空间像的比较来确定所述光学系统的成像贡献， -从所测量的成像贡献来确定至少一个成像质量参数，和或 -从所测量的成像贡献确定所述测试结构5的复数值衍射光谱， -其中，在测量所述强度的范围内测量出经测量光谱S，并且将其测量作为通过所述光学系统引导的周期性测试结构5的衍射光谱。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司，其通讯地址为：德国上科亨；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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