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龙图腾网获悉英利能源发展有限公司申请的专利一种TOPCon电池硅片刻蚀装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115547914B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211280059.1，技术领域涉及：H10P50/64；该发明授权一种TOPCon电池硅片刻蚀装置及方法是由郎芳;潘明翠;夏新中;王红芳;翟金叶;孟庆超设计研发完成，并于2022-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种TOPCon电池硅片刻蚀装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种TOPCon电池硅片刻蚀装置及方法，属于太阳能电池技术领域，包括作业台、传输组和真空吸盘，作业台包括上料台、药液槽和下料台；真空吸盘与真空泵相连接；传输组包括设于作业台上方的传输轨道、行走机构和升降机构，行走机构连接在传输轨道上，升降机构连接行走机构，升降机构的作业端连接真空吸盘，行走机构沿在传输轨道移动，以借助升降机构带动硅片传输。本发明提供的TOPCon电池硅片刻蚀装置，通过在工作台上方设置真空吸盘和传输组来固定和传输硅片，使硅片在药液中刻蚀时，不受药液浮力作用影响，硅片不易倾翻，从而避免了药液翻到硅片正面的问题发生。

本发明授权一种TOPCon电池硅片刻蚀装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种TOPCon电池硅片刻蚀装置，其特征在于，包括： 作业台，所述作业台包括顺序连接的上料台100、药液槽200和下料台300； 真空吸盘2，所述真空吸盘2与真空泵相连接，用于吸附硅片3； 传输组，所述传输组包括设于所述作业台上方的传输轨道401、行走机构402和升降机构403，所述行走机构402连接在所述传输轨道401上，所述升降机构403连接所述行走机构402，所述升降机构403的作业端连接所述真空吸盘2，所述行走机构402沿所述传输轨道401移动，以借助所述升降机构403带动所述硅片3传输； 所述升降机构403的作业端连接有载物盘1，所述载物盘1上设有贯穿上下端面的吸气孔11，所述真空泵与所述吸气孔11的上端相连接，所述真空吸盘2连接所述载物盘1的下端并与所述吸气孔11的下端口连通； 所述载物盘1上设有多个贯穿其上下端面的送风孔13，多个所述送风孔13的上端与气源相连； 所述载物盘1的下端面开设有环形槽15，所述吸气孔11位于所述环形槽15的内侧，多个所述送风孔13位于所述环形槽15的外侧，所述环形槽15内滑动穿设有环形垫块5，所述环形垫块5的上端面与所述环形槽15之间连接有弹性件16，所述环形垫块5的下端面位于所述环形槽15的外部，且处于所述真空吸盘2的下方； 所述环形垫块5包括自上而下依次连接的连接段51和引流段52，所述连接段51与所述弹性件16相连，所述引流段52位于所述环形槽15的外部，所述引流段52的外侧壁设有曲面521，且所述曲面521自上而下向外弯曲，所述送风孔13包括倾斜孔131，所述倾斜孔131贯穿所述载物盘1的下端面设有出风口1311，且所述出风口1311朝向所述引流段52一侧设置。

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