中国科学院长春光学精密机械与物理研究所张建伟获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115693394B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211427480.0，技术领域涉及：H01S5/065；该发明授权具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法是由张建伟;徐玥辉;张星;周寅利;陈超;吴昊;张大勇;宁永强设计研发完成，并于2022-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法，其中的VCSEL激光器包括输出高阶模光束和基模光束的出光口，在出光口的表面制备对高阶模光束进行折转的模式调控结构，使高阶模光束与基模光束发生分离。与现有技术相比，本发明在VCSEL的表面集成模式调控结构，只对出光孔边缘的高阶模光束进行滤除，而不影响中心区域的基膜光束的稳定输出，不会降低基模光束的输出损耗，同时还具有制备工艺简单的优点。
本发明授权具有模式调控功能的VCSEL激光器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有模式调控功能的VCSEL激光器，包括输出高阶模光束和基模光束的出光口，其特征在于，在所述出光口的表面制备对所述高阶模光束进行折转的模式调控结构，使所述高阶模光束与所述基模光束发生分离；在VCSEL激光器的氧化层内对应于所述出光口的位置形成未被氧化的氧化孔，所述模式调控结构为微透镜或光栅；所述微透镜为内部开设有出光孔的柱状结构体，所述出光孔的直径沿出光方向逐渐增大；所述光栅为圆形光栅，所述圆形光栅为具有横向传输特性的衍射光栅，在所述圆形光栅的中心开设有出光孔，所述出光孔靠近所述出光口一端的孔径小于所述氧化孔的孔径，使模式调控结构覆盖所述出光孔的边缘位置。
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