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龙图腾网获悉上海良薇机电工程有限公司申请的专利一种混气装置、方法及半导体工艺系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115738775B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211451357.2，技术领域涉及：B01F23/10；该发明授权一种混气装置、方法及半导体工艺系统是由陈亮;范威威;纪雪峰设计研发完成，并于2022-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种混气装置、方法及半导体工艺系统在说明书摘要公布了：本发明涉及一种混气装置、方法及半导体工艺系统，包括第一气体输送单元、第二气体输送单元、浓度监测单元、混合缓冲单元、排气单元、泄压单元和吹扫单元。其优点在于，通过浓度监测单元可以进行高精度、低浓度的气体稀释，从而满足不同的工艺要求；利用混合缓冲单元将第一气体输送单元输送的第一气源和第二气体输送单元输送的第二气源进行现场混合稀释以达到工艺要求的浓度，延长了第二气源的单次使用时间，降低更换第二气源的的频率，进提高工艺效率；通过排气单元、泄压单元和吹扫单元的配合，可以对混气装置的管路以及混合缓冲单元进行排空、吹扫、泄压，满足洁净要求，避免残留前次工艺气源，从而可以进行更换气源操作。

本发明授权一种混气装置、方法及半导体工艺系统在权利要求书中公布了：1.一种混气装置，其特征在于，包括第一气体输送单元、第二气体输送单元、浓度监测单元、混合缓冲单元、排气单元、泄压单元和吹扫单元； 第一气体输送单元包括第一气体输送元件、第一手动隔膜阀、第一调压阀、第二手动隔膜阀、第一气动隔膜阀、第一流量监测元件、第二气动隔膜阀和至少三个第一压力监测元件；第一气体输送元件与混合缓冲单元连通，用于向混合缓冲单元输送第一气源；第一手动隔膜阀设置于分别与第一气体输送元件、混合缓冲单元连通的管路的进口；第一调压阀设置于第一手动隔膜阀的下游，并位于第一气体输送元件与吹扫单元连通的管路的上游；第二手动隔膜阀设置于第一调压阀的下游，并位于第一气体输送元件与吹扫单元连通的管路的下游；第一气动隔膜阀设置于第二手动隔膜阀的下游；第一流量监测元件设置于分别与第一气体输送元件、混合缓冲单元连通的管路，用于监测第一气源的流量；第二气动隔膜阀设置于分别与第一气体输送元件、混合缓冲单元连通的管路的出口，并位于第一流量监测元件的下游；至少一个第一压力监测元件设置于第一手动隔膜阀与第一调压阀之间，用于监测管路压力；至少一个第一压力监测元件设置于第二手动隔膜阀与第一气动隔膜阀之间，用于监测管路压力；至少一个第一压力监测元件设置于第一调压阀与第二手动隔膜阀之间，用于监测管路压力； 第二气体输送单元包括第二气体输送元件、第三手动隔膜阀、第二调压阀、第四手动隔膜阀、第三气动隔膜阀、第二流量监测元件、第四气动隔膜阀和至少三个第二压力监测元件；第二气体输送元件与混合缓冲单元连通，用于向混合缓冲单元输送第二气源；第三手动隔膜阀设置于分别与第二气体输送元件、混合缓冲单元连通的管路的进口；第二调压阀设置于第三手动隔膜阀的下游，并位于第二气体输送元件与吹扫单元连通的管路的上游；第四手动隔膜阀设置于第二调压阀的下游，并位于第二气体输送元件与吹扫单元连通的管路的下游第三气动隔膜阀设置于第四手动隔膜阀的下游；第二流量监测元件设置于分别与第二气体输送元件、混合缓冲单元连通的管路，用于监测第二气源的流量；第四气动隔膜阀设置于分别与第二气体输送元件、混合缓冲单元连通的管路的出口，并位于第二流量监测元件的下游；至少一个第二压力监测元件设置于第三手动隔膜阀与第二调压阀之间，用于监测管路压力；至少一个第二压力监测元件设置于第四手动隔膜阀与第三气动隔膜阀之间，用于监测管路压力；至少一个第二压力监测元件设置于第二调压阀与第四手动隔膜阀之间，用于监测管路压力； 浓度监测单元设置于第二气体输送元件与混合缓冲单元连通的管路，并设置于第四手动隔膜阀与第三气动隔膜阀之间，用于监测第二气源的浓度； 混合缓冲单元包括混合缓冲元件、第四气体输送元件、第十四阀元件；混合缓冲元件分别与第一气体输送单元、第二气体输送单元、排气单元、泄压单元连通，用于将第一气源和第二气源混合以得到混合气源，并将混合气源向工艺腔室输送；第四气体输送元件与缓冲元件连通；第十四阀元件设置于分别与第四气体输送元件、混合缓冲元件连通的管路； 排气单元，排气单元分别与第一气体输送单元、第二气体输送单元、所述混合缓冲单元连通； 泄压单元包括第二真空元件、第十五阀元件；第二真空元件分别与第一气体输送单元、第二气体输送单元、混合缓冲单元、排气单元连通；第十五阀元件设置于分别与混合缓冲单元、第二真空元件连通的管路； 吹扫单元，吹扫单元分别与第一气体输送单元、第二气体输送单元连通。

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