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龙图腾网获悉苏州司南传感科技有限公司申请的专利一种红外检测MEMS流量传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115790750B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210462540.6，技术领域涉及：G01F1/684；该发明授权一种红外检测MEMS流量传感器是由俞骁设计研发完成，并于2022-04-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种红外检测MEMS流量传感器在说明书摘要公布了：本发明涉及一种红外检测MEMS流量传感器，包含红外辐射单元和红外接收单元；所述红外辐射单元包括悬臂设置在管道内且呈空心结构的细软支架、悬挂在细软支架头部的加热电阻、附着在加热电阻上用于向外辐射红外波的黑体、设置在管道外的电压源、两条穿过细软支架用于连接电压源和加热电阻的导线；所述红外接收单元为MEMS红外热电堆传感器阵列，且接收端正对黑体，用于吸收黑体辐射出的红外波，并转化为直流电压；本发明中用于释放红外辐射的黑体位于管道内部，而用于检测流体流速的MEMS红外热电堆传感器阵列位于管道外部，在工作时其受环境干扰小、热污染低，具有更高的准确度，且对防水、密封性要求低，具有成本低、安装方便等优点。

本发明授权一种红外检测MEMS流量传感器在权利要求书中公布了：1.一种红外检测MEMS流量传感器，其特征在于：包含红外辐射单元和红外接收单元； 所述红外辐射单元包括悬臂设置在管道内且呈空心结构的细软支架、设置在管道内且悬挂在细软支架头部的加热电阻、附着在加热电阻上用于向外辐射红外波的黑体、设置在管道外的电压源、两条穿过细软支架用于连接电压源和加热电阻的导线； 所述黑体通过烧结工艺制作在加热电阻上，且所述黑体材料为纳米碳管黑体，所述纳米碳管黑体由垂直排列生成的碳纳米管组成； 所述加热电阻由铂制成； 所述红外接收单元为MEMS红外热电堆传感器阵列，且接收端正对黑体，用于吸收黑体辐射出的红外波，并转化为直流电压； 所述MEMS红外热电堆传感器阵列采用多个MEMS红外热电堆传感器构成；多个所述MEMS红外热电堆传感器呈矩阵排列，且在同一平面上； 所述MEMS红外热电堆传感器采用硅基微加工工艺，在硅片支撑层上排布若干个热电偶，把这些热电偶串联起来构成热电堆；所述热电堆的下方设有空腔结构。

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