叶维彰获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
龙图腾网获悉叶维彰申请的专利晶圆缺角自动对齐装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115810571B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111079727.X,技术领域涉及:H10P72/50;该发明授权晶圆缺角自动对齐装置是由谭诗毅;叶维彰设计研发完成,并于2021-09-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆缺角自动对齐装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种晶圆缺角自动对齐装置,包括本体、晶圆旋转机构及晶圆定位机构。本体具有晶舟放置部。晶圆旋转机构设置于本体上并且包括转轴,转轴延伸通过晶舟放置部,转轴的轴线与本体之间的夹角的角度大于0°且小于90°。晶圆定位机构设置于本体上并且包括定位件,定位件延伸通过晶舟放置部,定位件的轴线平行于转轴的轴线。因此,本发明能够通过倾斜的转轴和定位件将多片晶圆呈现阶梯状分布,防止各晶圆的刻号被其他晶圆挡住,还可达成旋转晶圆、缺角对齐及刻号辨识等功效。
本发明授权晶圆缺角自动对齐装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆缺角自动对齐装置,其特征在于,包括: 一本体,具有一晶舟放置部; 一晶圆旋转机构,设置于所述本体上,并且包括一转轴,所述转轴延伸通过所述晶舟放置部,所述转轴的一轴线与所述本体之间的一夹角的角度大于0且小于90;以及 一晶圆定位机构,设置于所述本体上,并且包括一定位件,所述定位件延伸通过所述晶舟放置部,所述定位件的一轴线平行于所述转轴的所述轴线; 其中,所述晶圆旋转机构包括一驱动装置,所述驱动装置靠近所述晶舟放置部的一第一侧,所述驱动装置的一驱动轴连接所述转轴的一第一端;所述晶圆定位机构包括一底座,所述底座设置于所述本体上,并且靠近所述晶舟放置部的所述第一侧,所述定位件的一第一端连接所述底座; 所述底座包括一第二固定座及一板体,所述第二固定座设置于所述本体上并且靠近所述晶舟放置部的所述第一侧,所述板体设置于所述第二固定座,所述板体的一轴线平行于所述转轴的所述轴线,所述板体开设多个定位孔,所述多个定位孔的高度位置不同且与所述转轴的间距不同,所述定位件的所述第一端选择性地穿固于所述多个定位孔的其中之一,以调整所述转轴与所述定位件之间的间距。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人叶维彰,其通讯地址为:中国台湾新竹市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励