内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司杨强获国家专利权
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龙图腾网获悉内蒙古中环领先半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司申请的专利一种晶圆片用固定装置及采用该固定装置的退火方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116207031B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111446050.9，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权一种晶圆片用固定装置及采用该固定装置的退火方法是由杨强;周宏邦;张恒;贾海洋;娄中士;王淼;甄新雷;许晓玲设计研发完成，并于2021-11-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆片用固定装置及采用该固定装置的退火方法在说明书摘要公布了：一种晶圆片用固定装置及采用该固定装置的退火方法，至少包括：石英舟；固定架，置于所述石英舟上方，能够在晶圆片立放于所述石英舟内时与所述晶圆片卡接配合，以使所有所述晶圆片放置在所述石英舟和所述固定架之间形成的放置空间内不晃动。本发明通过在晶圆片的上端面设有镂空设置的固定架，固定架可与下置的石英舟共同作用提高晶圆片放置的稳定性，防止晶圆片晃动，降低碎片几率；同时还在每个晶圆片的两侧都设有可用于导流的导板，导板不仅可进一步提高晶圆片的固定，还可使冷风全部沿导流吹进导板形成的导流仓内，加快冷却速度和冷却均匀度，可进一步降低氧施主的产生，提高电阻率测量的准确性；不仅节约退火时间，还可节约能源，降低生产成本。
本发明授权一种晶圆片用固定装置及采用该固定装置的退火方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片用固定装置，其特征在于，至少包括： 石英舟； 固定架，置于所述石英舟上方，能够在晶圆片立放于所述石英舟内时与所述晶圆片卡接配合，以使所有所述晶圆片放置在所述石英舟和所述固定架之间形成的放置空间内不晃动； 还包括若干插置于所述石英舟内并与所述固定架连接的导板；所述导板使所述石英舟被分割成若干底部互通的放置仓，并使所述晶圆片隔离放置在所述放置仓内。
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