Document
拖动滑块完成拼图
个人中心

预订订单
商城订单
发布专利 发布成果 人才入驻 发布商标 发布需求

请提出您的宝贵建议,有机会获取IP积分或其他奖励

投诉建议

在线咨询

联系我们

龙图腾公众号
专利交易 商标交易 积分商城 国际服务 IP管家助手 科技果 科技人才 会员权益 需求市场 关于龙图腾 更多
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索
当前位置 : 首页 > 专利喜报 > 株式会社力森诺科大山恭之获国家专利权

株式会社力森诺科大山恭之获国家专利权

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

龙图腾网获悉株式会社力森诺科申请的专利半导体装置的制造方法、临时固定用膜材料的制造方法及临时固定用膜材料获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116261778B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202180067175.2,技术领域涉及:H10P72/70;该发明授权半导体装置的制造方法、临时固定用膜材料的制造方法及临时固定用膜材料是由大山恭之;宫泽笑;赤须雄太;古谷凉士设计研发完成,并于2021-09-29向国家知识产权局提交的专利申请。

半导体装置的制造方法、临时固定用膜材料的制造方法及临时固定用膜材料在说明书摘要公布了:本发明公开了一种半导体装置的制造方法,其包括对临时固定用层叠体照射光,由此将半导体部件从临时固定用树脂层分离。临时固定用层叠体通过包括如下工序的方法形成,即,以第1主表面与光吸收层接触的朝向,将临时固定用膜材料层叠在光吸收层上的工序;及将第2剥离膜从临时固定用膜材料剥离,使第2主表面露出的工序。临时固定用树脂层的第1主表面及第2主表面在刚体摆测定中的对数衰减率的最大值分别为δmax1及δmax2时,δmax2小于δmax1。

本发明授权半导体装置的制造方法、临时固定用膜材料的制造方法及临时固定用膜材料在权利要求书中公布了:1.一种半导体装置的制造方法,其依次包括如下工序: 形成临时固定用层叠体的工序,所述临时固定用层叠体具备具有支承面及与其相反侧的背面的支承基板、光吸收层、以及具有第1主表面及与其相反侧的第2主表面的临时固定用树脂层,且在所述支承面上依次层叠有所述光吸收层及所述临时固定用树脂层; 在所述临时固定用树脂层上临时固定半导体部件的工序; 从所述背面侧对所述临时固定用层叠体照射光的工序;及 将所述半导体部件从所述临时固定用树脂层分离的工序, 所述临时固定用层叠体通过依次包括如下工序的方法而形成,即, 准备临时固定用膜材料的工序,所述临时固定用膜材料具有所述临时固定用树脂层、第1剥离膜、及第2剥离膜,以所述第1剥离膜与所述临时固定用树脂层的所述第1主表面接触,且所述第2剥离膜与所述临时固定用树脂层的所述第2主表面接触的朝向,依次层叠有所述第1剥离膜、所述临时固定用树脂层、及所述第2剥离膜; 将所述第1剥离膜从所述临时固定用膜材料剥离,以所述临时固定用树脂层的露出的所述第1主表面与所述光吸收层接触的朝向,将所述临时固定用膜材料层叠在设置于所述支承面上的所述光吸收层上的工序;及 将所述第2剥离膜从所述临时固定用膜材料剥离,使所述临时固定用树脂层的所述第2主表面露出的工序, 所述临时固定用树脂层的所述第1主表面及所述第2主表面在刚体摆测定中的对数衰减率的最大值分别为δmax1及δmax2,δmax2小于δmax1。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社力森诺科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。