细美事有限公司吴英圭获国家专利权
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龙图腾网获悉细美事有限公司申请的专利基板处理装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116266035B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211374569.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权基板处理装置及方法是由吴英圭;李正洙;洪忠吾;郑畅和设计研发完成，并于2022-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置及方法在说明书摘要公布了：提供了一种能够稳定地传送多种类型的基板的基板处理装置。该基板处理装置包括：悬浮工作台，其在第一方向上传送基板，并包括沿与第一方向不同的第二方向布置的第一区域和第二区域；多个辊，设置在第一区域中，并用于传送基板；多个第一真空孔，设置在第一区域中，并以第一压力抽吸空气；以及多个第二真空孔，设置在第二区域中，并以与第一压力不同的第二压力抽吸空气。
本发明授权基板处理装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，包括： 悬浮工作台，其在第一方向上传送基板，并包括沿与所述第一方向不同的第二方向布置的第一区域和第二区域； 多个辊，设置在所述第一区域中，并用于传送所述基板； 多个第一真空孔，设置在所述第一区域中，并以第一压力抽吸空气；以及 多个第二真空孔，设置在所述第二区域中，并以与所述第一压力不同的第二压力抽吸空气； 其中，所述第一区域设置为多个，所述第二区域设置为多个，并且多个所述第一区域和多个所述第二区域沿所述第二方向交替地布置。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
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