中国科学院微电子研究所蒲永龙获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116337226B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310513027.X，技术领域涉及：G01J1/44；该发明授权一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法是由蒲永龙;张琛琛;毛海央;周娜;杨华彬;许韶行设计研发完成，并于2023-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法，涉及半导体技术领域。MEMS热电堆紫外探测器，包括：MEMS热电堆紫外探测单元、纳米森林单元和设置在所述纳米森林单元四周表面的金属颗粒单元，所述纳米森林单元设置在所述MEMS热电堆紫外探测单元上方；所述金属颗粒单元用于增加紫外辐射吸收率，从而提升实现对10‑400纳米波段紫外辐射的高灵敏探测，在提高了探测灵敏度的同时扩大了检测范围。
本发明授权一种MEMS热电堆紫外探测器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS热电堆紫外探测器，其特征在于，包括： MEMS热电堆紫外探测单元、纳米森林单元和设置在所述纳米森林单元四周表面的金属颗粒单元，所述纳米森林单元设置在所述MEMS热电堆紫外探测单元上方；所述金属颗粒单元用于增加紫外辐射吸收率；所述MEMS热电堆紫外探测单元包括硅衬底，以及依次设置在所述硅衬底上的介质层、金属连线、热电偶和紫外吸收层，所述纳米森林单元设置在所述紫外吸收层上表面；所述紫外吸收层的材料包括氧化锌、碳化硅、氮化镓、氧化镓或二氧化钛。
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