株式会社国际电气高野智获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社国际电气申请的专利基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116344414B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210207537.X，技术领域涉及：H10P72/30；该发明授权基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质是由高野智设计研发完成，并于2022-03-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质在说明书摘要公布了：本发明提供基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质。获得能够在利用旋转的臂搬送基板并将所搬送的基板载置于载置台的情况下抑制基板相对于载置台的错位的技术。本公开的技术具备：搬送装置，其具有使轴向为铅垂方向而旋转的轴、和从所述轴沿水平方向延伸并且支承基板的臂，该搬送装置通过使支承着所述基板的所述臂旋转，向载置台的上方搬送所述基板；检测部，其检测支承于所述臂并被搬送的所述基板；搬送控制部，其构成为能够基于所述检测部的检测结果来检测所述基板相对于所述臂的搬送偏移，并以修正所述基板相对于所述载置台的错位的方式控制所述搬送装置；以及处理部，其对载置于所述载置台的所述基板进行处理。
本发明授权基板处理装置、基板处理方法、半导体制造方法及记录介质在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备： 搬送装置，其具有使轴向为铅垂方向而旋转的轴、和从所述轴沿水平方向延伸并且支承基板的臂，该搬送装置通过使支承着所述基板的所述臂旋转，从而向载置台的上方搬送所述基板； 检测部，其检测支承于所述臂并被搬送的所述基板； 搬送控制部，其构成为能够基于所述检测部的检测结果来检测所述基板相对于所述臂的搬送偏移，并以修正所述基板相对于所述载置台的错位的方式控制所述搬送装置；以及 处理部，其对载置于所述载置台的所述基板进行处理， 所述搬送装置具备使所述基板相对于所述载置台升降的升降部， 所述搬送控制部在检测到所述基板的搬送偏移的情况下，利用所述升降部使支承于所述臂并被搬送到所述载置台的上方的所述基板上升而与所述臂隔开间隔，在使所述臂旋转而修正了所述臂的位置之后，利用所述升降部使所述基板下降而使所述基板支承于所述臂，由此修正所述基板的搬送偏移而修正所述基板相对于所述载置台的错位。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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