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龙图腾网获悉上海复享光学股份有限公司申请的专利衍射成像缺陷检测系统及其检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116718603B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310808583.X，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权衍射成像缺陷检测系统及其检测方法是由叶俊燚;石磊;赵茂雄;卢国鹏;隆军;殷海玮设计研发完成，并于2023-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本衍射成像缺陷检测系统及其检测方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种衍射成像缺陷检测系统及其检测方法，基于大角度暗场衍射显微成像和明场显微成像技术，能同时获得明场显微图像和暗场衍射显微图像，对大面积衍射光波导面结构信息进行多角度的快速获取，再配以相应的图像处理算法进而完成缺陷的自动化定位，并判断缺陷类型，有助于衍射光波导缺陷检测的工业化应用，提高检测效率。本发明解决了衍射光波导缺陷检测的传统检测方法对环境要求苛刻、对算法要求复杂、成本高、不适宜大规模工业化推广应用的问题。

本发明授权衍射成像缺陷检测系统及其检测方法在权利要求书中公布了：1.一种衍射成像缺陷检测系统，其特征在于，包括： 承台，所述承台内圈安装有电动样品台，所述电动样品台可根据待测衍射光波导形状尺寸进行相应的平移和旋转运动，所述承台外圈安装有电动旋转台，所述电动旋转台可沿承台轴向进行旋转； 用于分别获取所述待测衍射光波导的明场显微图像和暗场衍射显微图像的第一光电探测设备，对准于所述电动样品台； 暗场照明模块，包括用于生成高相干光的白光光源和对准于所述电动样品台的光束调制器，所述白光光源通过光纤连接于所述光束调制器以生成照射于所述待测衍射光波导的暗场光束； 第一成像光路，包括用于采集所述待测衍射光波导的表面光学信息的显微透镜组件和用于将所述光学信息于所述第一光电探测设备处成像的成像透镜组件； 明场照明模块，包括分束器和对准于所述分束器的一出射端口的宽谱段光源和用于汇聚所述宽谱段光源以形成明场光束的4f光学系统，所述明场光束依次经由所述分束器和所述显微透镜组件照射于所述待测衍射光波导以令所述第一光电探测设备获取所述明场显微图像； 所述承台外圈的电动旋转台上可调地安装有电动伸缩杆，所述光束调制器可转动地安装于所述电动伸缩杆上； 还包括可转动地安装于所述电动伸缩杆的第二成像光路和第二光电探测装置，所述第二成像光路包括对准于所述电动样品台的显微透镜组件和成像透镜组件，所述第二光电探测装置对准于设置于所述显微透镜组件的出射端，所述第二成像光路的成像透镜组件设置于所述出射端与所述第二光电探测装置之间。

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