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龙图腾网获悉沪士电子股份有限公司申请的专利等离子气体制作精细线路的方法及含精细线路的线路板获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116847563B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310837818.8，技术领域涉及：H05K3/06；该发明授权等离子气体制作精细线路的方法及含精细线路的线路板是由王永军;孙丽丽设计研发完成，并于2023-07-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本等离子气体制作精细线路的方法及含精细线路的线路板在说明书摘要公布了：本发明提供等离子气体制作精细线路的方法及含精细线路的线路板，所述方法包括如下步骤：原始基材的表面依次经贴覆第一感光干膜、曝光和显影，得到第一基材，所述第一基材的非线路区域被膜贴覆，所述第一基材的线路区域露出；所述第一基材中线路区域的无机物在等离子气体中经反应气化，然后依次抽真空和通入烧蚀气体，所述烧蚀气体与第一基材中线路区域发生烧蚀反应，将所述线路区域粉末化，形成线路槽；所述线路槽依次进行清洗和活化处理；循环进行直至得到完整线路槽；并去除所述第一感光干膜，得到第二基材；第二基材经过后续处理得到含精细线路的线路板。本发明所述方法适用范围广，精度可达到0.5mil以内。

本发明授权等离子气体制作精细线路的方法及含精细线路的线路板在权利要求书中公布了：1.一种等离子气体制作精细线路的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤： 1原始基材的表面依次经贴覆第一感光干膜、曝光和显影，得到第一基材，所述第一基材的非线路区域被膜贴覆，所述第一基材的线路区域露出； 2所述第一基材中线路区域的无机物在等离子气体中经反应气化，然后依次抽真空和通入烧蚀气体，所述烧蚀气体与第一基材中线路区域发生烧蚀反应，将所述线路区域粉末化，形成线路槽；所述线路槽依次进行清洗和活化处理；所述等离子气体包括等离子氩气、氧气+氧气后再氩气或氢气+氢气再氩气；所述反应气化的温度为50~100℃；所述烧蚀气体为四氟化碳气体； 3循环进行步骤2直至得到完整线路槽；并去除所述第一感光干膜，得到第二基材； 4步骤3得到的第二基材依次经整板化学沉铜、对所述线路槽的孔位进行填孔电镀，然后将所述第二基材的表面进行减铜处理或研磨处理，直至暴露所述线路区域的基材，得到第三基材； 或者步骤3得到的第二基材经整板靶向溅镀，所述整板靶向溅镀将线路区域和线路槽的孔位的侧壁以及底部依次覆盖金属层，然后再次贴覆第二感光干膜、对所述非线路区域进行曝光固化，线路区域经显影，暴露线路区域的凹槽，所述凹槽的底部与侧壁含有一层铜，再依次对所述凹槽进行填孔电镀将凹槽镀满铜厚，去除所述第二感光干膜，并去除非线路区域以及非导通孔位的铜直至暴露所述非线路区域的基材，得到第三基材； 所述方法制备得到的0.5mil的精细线路的公差≤10.2%；蚀刻均匀性≥CPK2.0。

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