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北京莱伯泰科仪器股份有限公司;上海新昇半导体科技有限公司陈微微获国家专利权

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龙图腾网获悉北京莱伯泰科仪器股份有限公司;上海新昇半导体科技有限公司申请的专利用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116859073B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310807825.3,技术领域涉及:G01N35/10;该发明授权用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构是由陈微微;蓝元柯;鲁殿海;肖梦杰;李宁;高占岭;谢新刚;丁良诚;胡克设计研发完成,并于2023-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。

用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构,具有电动升降组件、电动转动组件、开关盖组件以及取样组件,所述电动升降组件能够驱动所述电动转动组件进行升降动作,所述开关盖组件以及取样组件安装在所述电动转动组件上,并能够被所述电动转动组件驱动同步旋转。本发明通过将开关盖组件与取样组件整合到同一个复合垂向臂结构上,具有简单、高效、速度快的优点。

本发明授权用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体痕量元素开关盖进样分析的复合垂向臂结构,其特征在于,具有电动升降组件、电动转动组件、开关盖组件以及取样组件,所述电动升降组件能够驱动所述电动转动组件进行升降动作,所述开关盖组件以及取样组件安装在所述电动转动组件上,并能够被所述电动转动组件驱动同步旋转; 所述电动升降组件具有沿垂向布置的导轨安装板,在导轨安装板上沿垂向固定有直线导轨,沿水平布置的第一电机安装板固定于导轨安装板,升降电机固定于第一电机安装板,其驱动一沿垂向布置的丝杠旋转动作,在丝杠上设有能够升降的螺母; 在导轨安装板上还固定有沿水平布置的定位板,所述丝杠通过轴承与定位板相接; 所述电动转动组件具有沿水平布置的第二电机安装板,第二电机安装板与所述螺母螺接固定,第二电机安装板还安装在所述直线导轨上,沿垂向布置的旋转电机固定在第二电机安装板上,立杆的下端与旋转电机的输出轴固定连接,上端与一悬臂座固定连接; 所述立杆上设有立杆导套,所述立杆导套与所述定位板固定连接; 所述开关盖组件具有开关盖组件悬臂,开关盖组件悬臂的一端与所述悬臂座固定连接,吸盘导杆座与开关盖组件悬臂的另一端固定连接,真空吸盘部件与吸盘导杆座固定连接; 所述取样组件具有取样组件悬臂,所述取样组件悬臂的一端与所述悬臂座固定连接,取样针护套与取样组件悬臂的另一端固定连接,取样针与取样针护套固定连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京莱伯泰科仪器股份有限公司;上海新昇半导体科技有限公司,其通讯地址为:101312 北京市顺义区空港工业区B区安庆大街6号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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