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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种层距可调的晶圆存储设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116902471B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311053286.5，技术领域涉及：B65G1/14；该发明授权一种层距可调的晶圆存储设备是由董怀宝;杨柳;陈雷;马刚;刘恩龙;武一鸣;刘锐;苗义;张菊;朱曼春;张贤龙;李莹莹;卜天瑜;王俊波设计研发完成，并于2023-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种层距可调的晶圆存储设备在说明书摘要公布了：一种层距可调的晶圆存储设备，包括骨架单元、动力驱动单元、链接单元以及晶圆承载单元；骨架单元包括底板、两个高度调节块和左右层间滑动支撑轴；晶圆承载单元包括N个晶圆承载台，每一个晶圆承载台包括一对相对对称平行设置的左右插槽SLOT，用于将一片晶圆平行放置于左右插槽SLOT上；左右插槽SLOT分别通过由固定在所述左右层间滑动支撑轴贯穿的方式堆叠在一起；位于晶圆承载单元最下面的插槽SLOT底面分别通过两个个高度调节块与底板上表面直接或间接固定；当对某一个插槽SLOT取放晶圆时，动力启动单元抬升插槽SLOT，机械手对插槽SLOT进行取放晶圆操作；当取放晶圆后，伺服模组带动横向伸缩气缸下降，直到相邻两个插槽SLOT之间的间距缩短为最小。

本发明授权一种层距可调的晶圆存储设备在权利要求书中公布了：1.一种层距可调的晶圆存储设备，其特征在于，包括骨架单元、动力驱动单元、链接单元以及晶圆承载单元；其中， 所述骨架单元包括底板1、两个高度调节块和左右层间滑动支撑轴2；所述左右层间滑动支撑轴2垂直固定在所述底板1上；所述晶圆承载单元包括N个晶圆承载台，每一个晶圆承载台包括一对相对对称平行设置的左右插槽SLOT6，用于将一片晶圆平行放置于左右插槽SLOT6上；所述左右插槽SLOT6分别通过由固定在所述左右层间滑动支撑轴2贯穿的方式堆叠在一起，并且左右两端的插槽SLOT6的方向对称；其中，所述N大于等于3； 位于所述晶圆承载单元最下面的所述插槽SLOT6底面分别通过两个所述高度调节块与所述底板1上表面直接或间接固定； 所述插槽SLOT6的本体包括晶圆承接台、驱动力接收端以及与垂直于所述晶圆承接台水平伸出的两个柱状凸出；所述晶圆承接台与所述驱动力接收端反向设置； 所述链接单元包括N-1个右端SLOT连接件5和N-1个左端SLOT连接件5，所述SLOT连接件5的一端是通孔，另一端是槽口，所述通孔由相邻堆叠的两个所述插槽SLOT6之中上方的插槽SLOT6上的两个柱状凸出穿过，所述槽口由相邻两个插槽SLOT6之中下方的插槽SLOT6上的两个柱状凸出穿过，且该两个相邻的插槽SLOT6处于堆叠状态时，下方所述插槽SLOT6的柱状结构处于槽口的上极限位置；所述SLOT连接件5以交错连接的方式连接在所述层间滑动支撑轴2上堆叠的同一组所述插槽SLOT6的两端； 所述动力驱动单元其包括左右两个在垂直方向升降的伺服模组3、伸缩杆、抬升块8和与能在所述伺服模组3上水平方向移动的横向伸缩的两个气缸4构成，且所述伺服模组3对称设置于所述底板1上表面；其中， 当对某一个插槽SLOT6取放晶圆时，所述的横向伸缩气缸4的伸缩杆上固定着用于抬升需取放的所述晶圆的驱动力接收端的抬升块8，所述的横向伸缩气缸4工作时伸出伸缩杆使所述抬升块8刚好处于两个相邻的所述插槽SLOT6之间；之后所述伺服模组3带动所述横向伸缩气缸4上升从而使所述插槽SLOT6被抬升，相邻两个所述插槽SLOT6之间的间距变大，机械手对插槽SLOT6进行取放晶圆操作； 当取放晶圆后，所述伺服模组3带动横向伸缩气缸4下降，所述插槽SLOT6受自身重力影响沿着左右层间滑动支撑轴2向下滑动，最后堆叠在一起，使相邻两个所述插槽SLOT6之间的间距缩短为最小。

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