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上海广川科技有限公司董怀宝获国家专利权

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龙图腾网获悉上海广川科技有限公司申请的专利一种整体式调整层距的晶圆存储设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116946611B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311053261.5,技术领域涉及:B65G1/14;该发明授权一种整体式调整层距的晶圆存储设备是由董怀宝;陈雷;杨柳;马刚;刘恩龙;武一鸣;刘锐;苗义;张菊;朱曼春;张贤龙;董阳;卜天瑜;张艺怀设计研发完成,并于2023-08-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种整体式调整层距的晶圆存储设备在说明书摘要公布了:一种整体式调整层距的晶圆存储设备,包括骨架单元、动力驱动单元、链接单元以及晶圆承载单元。骨架单元包括底板、中板、顶板、八个高度调节块和左右层间滑动支撑轴;左右层间滑动支撑轴垂直固定在所述底板上;晶圆承载单元以中板为界限分为上和下晶圆承载组,每个晶圆承载台包括一对相对对称平行设置的左右插槽SLOT,用于将一片晶圆平行放置于左右插槽SLOT上;左右插槽SLOT分别通过由固定在左右层间滑动支撑轴贯穿的方式堆叠在一起;当动力驱动单元工作时,上晶圆承载组中的插槽SLOT处于存储模式,下晶圆承载组中的插槽SLOT处于取放模式;当动力驱动单元处于放松状态时,下晶圆承载组处于存储模式;上晶圆承载组中的插槽SLOT处于取放模式。

本发明授权一种整体式调整层距的晶圆存储设备在权利要求书中公布了:1.一种整体式调整层距的晶圆存储设备,其特征在于,包括骨架单元、动力驱动单元、链接单元以及晶圆承载单元; 所述骨架单元包括底板1、中板2、顶板3、八个高度调节块8和左右层间滑动支撑轴4;所述左右层间滑动支撑轴4垂直固定在所述底板1上;所述晶圆承载单元以所述中板2为界限分为上晶圆承载组和下晶圆承载组,所述上晶圆承载组和下晶圆承载组各自包括N个晶圆承载台,每一个晶圆承载台包括一对相对对称平行设置的左右插槽SLOT,用于将一片晶圆9平行放置于左右插槽SLOT上;所述左右插槽SLOT分别通过由固定在所述左右层间滑动支撑轴4贯穿的方式堆叠在一起,并且左右两端的插槽SLOT的方向对称;其中,所述N大于等于3; 所述中板2的两端贯穿所述层间滑动支撑轴4,所述上晶圆承载组的顶层插槽SLOT分别通过2个所述高度调节块8与所述顶板3直接或间接固定,所述上晶圆承载组的底层插槽SLOT分别通过2个所述高度调节块8与所述中板2直接或间接固定;所述下晶圆承载组的底层的插槽SLOT分别通过2个所述高度调节块8与所述中板2上表面直接或间接固定;所述下晶圆承载组的顶层的插槽SLOT分别通过2个所述高度调节块8与所述中板2下表面直接或间接固定; 所述插槽SLOT包括晶圆承接台侧以及与垂直于所述晶圆承接台水平伸出的两个柱状凸出; 所述链接单元包括N-1个用于连接所述上晶圆承载组的右边插槽SLOT的右上SLOT连接件、N-1个用于连接所述上晶圆承载组的左边插槽SLOT的左上SLOT连接件、N-1个用于连接所述下晶圆承载组的右边插槽SLOT的右下SLOT连接件和N-1个用于连接所述下晶圆承载组的左边插槽SLOT的左下SLOT连接件;所述SLOT连接件以交错连接的方式连接在所述层间滑动支撑轴4上堆叠的同一组所述插槽SLOT的两端; 所述SLOT连接件的一端是通孔,另一端是槽口;所述通孔由相邻堆叠的两个所述插槽SLOT之中上方插槽SLOT上的两个柱状凸出处伸出,所述槽口由相邻两个插槽SLOT之中下方插槽SLOT上的两个柱状凸出处伸出,且所述两个相邻的插槽SLOT处于堆叠状态时,下方插槽SLOT的柱状结构处于槽口的上极限位置; 所述动力驱动单元设置于所述中板2和所述底板1之间; 当所述动力驱动单元工作时,所述中板2被抬升,所述上晶圆承载组中的插槽SLOT堆叠在一起间距达到最小,此时,所述上晶圆承载组中的插槽SLOT处于存储模式;而所述下晶圆承载组中的插槽SLOT因所述中板2被抬升,与所述中板2带动所述下晶圆承载组中的顶端插槽SLOT也被抬升,与之通过所述插槽SLOT连接件连接的插槽SLOT也会被抬升,且因重力作用所述下方插槽SLOT组中的插槽SLOT的柱状结构会处于所述插槽SLOT连接件的槽口下极限位置,使所述插槽SLOT组之间的间距达到最大,此时所述下晶圆承载组中的插槽SLOT处于取放模式; 当所述动力驱动单元处于放松状态时,所述中板2会因重力作用被上晶圆承载组中的插槽SLOT的重力以及下晶圆承载组中的插槽SLOT组的重力引起的牵引力而向下运动,此时所述下晶圆承载组中的插槽SLOT间距达到最小,处于存储模式;而所述上晶圆承载组中的插槽SLOT间距达到最大,处于取放模式。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人上海广川科技有限公司,其通讯地址为:200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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