北京北方华创微电子装备有限公司张军获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种半导体工艺配方的比较方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117312868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311212070.9，技术领域涉及：G06F18/22；该发明授权一种半导体工艺配方的比较方法和装置是由张军;刘亚欣;蒋丽娜设计研发完成，并于2023-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺配方的比较方法和装置在说明书摘要公布了：本发明实施例提供了一种半导体工艺配方的比较方法和装置。方法包括：获取第一配方和第二配方；第一配方包括多个第一工艺步骤和各个第一工艺步骤对应的第一配置项；第二配方包括多个第二工艺步骤和各个第二工艺步骤对应的第二配置项；将第一工艺步骤的第一配置项与至少一个第二工艺步骤对应的第二配置项进行匹配；记录匹配结果。本发明实施例通过依次将第一配置项与多个第二配置项进行匹配，得到匹配结果，从而提高配方比较结果的准确性。
本发明授权一种半导体工艺配方的比较方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺配方的比较方法，其特征在于，包括： 获取第一配方和第二配方；所述第一配方包括多个第一工艺步骤和各个第一工艺步骤对应的第一配置项，所述第一配置项包括对应第一工艺步骤的所有参数信息；所述第二配方包括多个第二工艺步骤和各个第二工艺步骤对应的第二配置项，所述第二配置项包括对应第二工艺步骤的所有参数信息，所述参数信息包括参数名称和对应的参数值； 将所述第一工艺步骤的第一配置项与至少一个第二工艺步骤对应的第二配置项进行匹配； 根据匹配结果，生成针对第一工艺步骤的记录信息和第二工艺步骤的记录信息并进行记录； 所述将所述第一工艺步骤的第一配置项与至少一个第二工艺步骤对应的第二配置项进行匹配，包括： 遍历所述第一配方的各个第一配置项，从未完成比较的第一配置项中确定当前进行比较的目标第一配置项； 遍历所述第二配方的各个第二配置项，从未完成比较的第二配置项中，确定是否存在与所述目标第一配置项匹配的目标第二配置项。
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