复旦大学义乌研究院颜光辉获国家专利权
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龙图腾网获悉复旦大学义乌研究院申请的专利集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117415318B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311307537.8,技术领域涉及:B22F1/17;该发明授权集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法是由颜光辉;梅永丰设计研发完成,并于2023-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法在说明书摘要公布了:本发明属于稀土永磁材料技术领域,具体为集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法。本发明方法是把稀土永磁合金铸锭或铸片的氢破碎过程和原子层沉积包覆镀层的过程集成在相同的反应腔内进行;首先将稀土永磁合金铸锭或铸片放置在真空反应腔中,利用高纯氩气洗气多次后,通入充足的氢气使稀土永磁合金铸锭或铸片吸氢破碎成粉末并充分脱氢;在真空状态下将氢破碎粉末加热到80~250℃保温1.5~4小时,采用原子层沉积方法沉积总厚度为10~50nm的铜镀层。本发明可简化工艺步骤;提升稀土永磁磁粉表面的镀层包覆率;通过对磁粉的表面改性,使得包覆的铜镀层在稀土永磁磁体的烧结及热处理过程中优化磁体的微观组织结构,提升磁性能。
本发明授权集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法在权利要求书中公布了:1.一种集成稀土永磁合金氢破碎和原子层沉积包覆铜镀层的方法,其特征在于,是稀土永磁合金铸锭或铸片的氢破碎过程以及氢破碎之后粉末表面的原子层沉积包覆铜镀层的过程集成在相同的反应腔内进行,具体步骤如下: 1使用氩气对反应腔内的稀土永磁合金铸锭或者铸片清洗3次以上,将充足的氢气通入反应腔,使稀土永磁合金铸锭或铸片充分吸氢并破碎成粗粉末; 2对步骤1中的粉末进行充分脱氢,并抽取脱氢反应的气体副产物; 3在真空状态下,将步骤2得到的粉末加热到80~250℃,保温1.5~4小时; 4保持反应腔体与外界空气有效隔离,利用氩气作为载气,将第一前驱体气体即脒基铜前驱体以气体脉冲式通入反应腔内,使反应腔内的稀土永磁合金氢破碎粉的表面充分吸附该第一前驱体气体; 5脉冲式通入氩气作为吹扫气体,抽去未被吸附的第一前驱体气体; 6保持反应腔体与外界空气有效隔离,将第二前驱体气体以气体脉冲式通入反应腔内,使吸附在稀土永磁合金氢破碎粉表面的第一前驱体气体与第二前驱体气体充分发生反应;所述第二前驱体气体为氢气或氢等离子体混合气; 7脉冲式通入氩气作为吹扫气体,抽去第一前驱体气体和第二前驱体气体的反应副产物以及未反应的第二前驱体气体; 8重复步骤4-7,在稀土永磁合金氢破碎磁粉表面沉积所需厚度的铜镀层。
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