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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利导电滑环及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117559187B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311360824.5，技术领域涉及：H01R39/08；该发明授权导电滑环及半导体工艺设备是由于斌;叶华;史全宇设计研发完成，并于2023-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本导电滑环及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种导电滑环及半导体工艺设备，所公开的导电滑环，应用于半导体工艺设备的工艺腔室，导电滑环包括外壳、固定电连接部和转动电连接部，其中：外壳具有壳腔和与壳腔连通的第一安装孔，外壳用于与工艺腔室密封连接，以使壳腔与工艺腔室的腔室空间密封连通；固定电连接部与第一安装孔密封配合，且固定电连接部的第一端部伸至壳腔中，并与转动电连接部电连接，固定电连接部的第二端部位于外壳之外，且用于与电源电连接；转动电连接部转动地设于外壳之内，并用于与工艺腔室之内的用电器件电连接。上述方案能解决相关技术涉及的工艺腔室采用磁流体结构来实现工艺空间与工艺腔室的外部环境之间的密封，而存在密封效果不佳问题。

本发明授权导电滑环及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种导电滑环，其特征在于，应用于半导体工艺设备的工艺腔室10，所述导电滑环01包括外壳30、固定电连接部40和转动电连接部50； 所述外壳30具有壳腔31和与所述壳腔31连通的第一安装孔32，所述外壳30用于与所述工艺腔室10密封连接，以使所述壳腔31与所述工艺腔室10的腔室空间11密封连通； 所述固定电连接部40与所述第一安装孔32密封配合，所述壳腔31与所述腔室空间11连通后形成的整体空间与外部环境密封隔离，所述固定电连接部40的第一端部伸至所述壳腔31中，并与所述转动电连接部50电连接，所述固定电连接部40的第二端部位于所述外壳30之外，且用于与电源60电连接； 所述转动电连接部50转动地设于所述外壳30之内，所述转动电连接部50包括绝缘转轴51和套设于所述绝缘转轴51上，且随所述绝缘转轴51转动的导电环52；所述导电环52包括环状体521和设于所述环状体521之内的接电端子522，所述接电端子522的第一端部与所述环状体521的内环面电连接； 所述导电环52为多个，并在所述绝缘转轴51的轴向间隔分布，所述绝缘转轴51开设有间隔分布的多个均沿其轴向延伸的接电避让槽511，所述环状体521的外环面与所述固定电连接部40的第一端部电接触，所述接电端子522的第二端部插接到相应的所述接电避让槽511之内且用于与所述工艺腔室10之内的用电器件21电连接。

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