合肥海滨半导体科技有限公司石莉莎获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥海滨半导体科技有限公司申请的专利半导体成膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117626199B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311642292.4，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权半导体成膜设备是由石莉莎;张霞设计研发完成，并于2023-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体成膜设备在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体成膜设备，涉及半导体生产工艺，包括溅射支撑外壳，溅射支撑外壳内部滑动设置有滑动杆，滑动杆的端部固定有承载组件，承载组件上可拆卸设置有用于对基板进行放置的托盘组件，承载组件上设置有用于对基板位置进行限制的限位组件。本申请在使用时，通过在承载组件上可拆卸安装有托盘组件，使得托盘组件能够在每次加工结束后进行拆除清理，保证托盘组件上表面的平整程度，同时在承载组件上设置有用于对基板位置进行限制的限制组件，使得利用限制组件对基板的成膜位置进行限制，保证基板成膜时的精准度，所以本申请能够解决托盘上表面不平稳的现象，保证基板加工的精准度。
本发明授权半导体成膜设备在权利要求书中公布了：1.半导体成膜设备，包括溅射支撑外壳3，所述溅射支撑外壳3内部滑动设置有滑动杆8，其特征在于：所述滑动杆8的端部固定有承载组件7，所述承载组件7上可拆卸设置有用于对基板4进行放置的托盘组件5，所述承载组件7上设置有用于对基板4位置进行限制的限位组件； 所述承载组件7包括承载基板71，所述承载基板71上固定有用于和托盘组件5滑动连接的滑动支撑基板73，且所述滑动支撑基板73的尺寸小于承载基板71； 所述托盘组件5包括用于和滑动支撑基板73滑动连接的滑动底板51，所述滑动底板51上固定有用于对基板4进行放置的支撑托盘58，所述支撑托盘58上均匀设置有若干组硬质吸盘口57。
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