杭州电子科技大学孟凡宁获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州电子科技大学申请的专利一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117697618B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311745716.X,技术领域涉及:B24B37/11;该发明授权一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备及方法是由孟凡宁;戴玉龙;张振宇;石春景;冯俊元设计研发完成,并于2023-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备及方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备,包括设备台体和滚子装夹与抛光装置,设备台体包括设备箱体和可转动的磁吸抛光盘,磁吸抛光盘设置在设备箱体上,滚子装夹与抛光装置的数量至少为一个,且其设置于设备箱体上,滚子装夹与抛光装置包括驱动机构、夹持机构和抛光液供给机构,夹持机构用于对待加工工件进行夹持,夹持机构夹持的待加工工件的底部能够与所述磁吸抛光盘接触,驱动机构与夹持机构相连,抛光液供给机构用于提供抛光液。本发明能够完成调心滚子全身抛光,包括对调心滚子上端面圆形凹槽的抛光,解决了调心滚子全身难以抛光完全的问题,还能在保证调心滚子形状精度的同时很好的完成对调心滚子曲面的抛光加工。
本发明授权一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备及方法在权利要求书中公布了:1.一种用于批量加工高精度调心滚子的化学机械抛光设备,其特征在于,包括设备台体和滚子装夹与抛光装置,所述设备台体包括设备箱体和可转动的磁吸抛光盘,所述磁吸抛光盘设置在设备箱体上,所述滚子装夹与抛光装置的数量至少为一个,且其设置于设备箱体上,所述滚子装夹与抛光装置包括驱动机构、夹持机构和抛光液供给机构,所述夹持机构用于对待加工工件进行夹持,所述夹持机构夹持的待加工工件的底部能够与所述磁吸抛光盘接触,所述驱动机构与夹持机构相连,所述抛光液供给机构用于提供抛光液; 所述滚子装夹与抛光装置包括支架、旋转接头,支架内部中空,支架的输入端为气泵外接口,支架输出端设置有喷头,所述抛光液供给机构包括气泵,所述驱动机构为支架的输出端中设置的电机,支架中间具有圆环形密封罩将支架内置的电机与抛光液分隔开,电机的输出端通过旋转接头与夹持机构相连,支架与旋转接头内置圆柱滚子轴承; 所述夹持机构为卡爪式结构,其内表面为弹性材料,其内壁与待加工工件整体外形相契合; 所述夹持机构与驱动机构为可拆卸地连接,通过内六角螺钉完成二者的固定; 磁吸抛光盘具有打开或关闭磁吸的功能。
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