中国科学院金属研究所任文才获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院金属研究所申请的专利一种大尺寸高质量三维六方氮化硼网络的制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN117737689B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202311506011.2,技术领域涉及:C23C16/34;该发明授权一种大尺寸高质量三维六方氮化硼网络的制备方法是由任文才;马超群;高意雯;陈晨;徐川;成会明设计研发完成,并于2023-11-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大尺寸高质量三维六方氮化硼网络的制备方法在说明书摘要公布了:本发明涉及新材料及其应用领域,具体涉及一种大尺寸高质量三维六方氮化硼h‑BN网络的制备方法。以多孔金属为模板,通过预处理将硼源均匀固定在模板孔壁表面,然后利用化学气相沉积CVD工艺,在适宜的温度和气氛条件下,以含氮气体为氮源,在多孔金属骨架表面催化生长h‑BN,去除金属基底后即可得到高质量三维h‑BN网络,通过调控基底模板及其他反应参数,可对所述三维h‑BN网络的孔径、形态、层数等进行精准调控。相比于现有三维h‑BN网络制备工艺,本发明可避免CVD工艺制备h‑BN网络因硼源难以在体相扩散而导致的生长不均匀,同时h‑BN层数、网络形态、孔隙可调,工艺简单,生产成本低廉,容易放大量产。所制备的h‑BN具有很高的结晶质量,可在诸多领域获得应用。
本发明授权一种大尺寸高质量三维六方氮化硼网络的制备方法在权利要求书中公布了:1.一种大尺寸高质量三维六方氮化硼网络的制备方法,其特征在于,该方法包括如下步骤: 1将固态硼源以干粉或分散液形式通过摇晃、震荡、反复提拉、超声或真空浸渍方式添加到泡沫金属基底模板的孔隙中,之后将负载硼源的泡沫金属放入烘箱充分干燥; 2在载气保护气氛下将反应炉腔体加热到设定的预处理温度; 3向反应炉腔体恒温区内放入表面负载固态硼源的泡沫金属,通入预处理气氛,预处理10min~120min; 步骤3中,预处理气氛为氧气、氩气、氮气、氦气或氢气中的一种或两种以上的混合,且氧气和氢气不能同时使用,流量为10~5000sccm; 4在载气保护气氛下,将步骤3预处理的泡沫金属冷却后取出,得到硼源在表面均匀分布的泡沫金属; 5在载气保护气氛下,将反应炉腔体加热到设定的还原温度; 6向反应炉腔体恒温区内放入经过预处理后的泡沫金属,并通入还原气体,还原时间10min~60min; 7向反应炉腔体内通入氮源气体、还原气体及载气的混合气氛,固态硼源和氮源气体在泡沫金属基底表面转换为h-BN;所述混合气氛中,氮源气体、还原气体和载气的流量比为1:0.5~80:0~100,反应时间1min~500min; 8在载气保护气氛下,将步骤7获得的泡沫金属冷却后取出,得到生长在泡沫金属基底上且三维连通的高质量h-BN网络结构。
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