ICT集成电路测试股份有限公司布鲁尔·约翰获国家专利权
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龙图腾网获悉ICT集成电路测试股份有限公司申请的专利确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117894657B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311206290.0，技术领域涉及：H01J37/22；该发明授权确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置是由布鲁尔·约翰;埃伯格·多米尼克;费尔克斯·马蒂亚斯设计研发完成，并于2023-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置在说明书摘要公布了：描述了一种确定在带电粒子束成像装置100中由聚焦透镜120朝样品10聚焦的带电粒子束11的亮度Br的方法。所述方法包括：a用所述带电粒子束成像装置拍摄所述样品的一个或多个图像hf,1...N；b从所述一个或多个图像检索所述带电粒子束的一个或多个束轮廓gf,1...N；以及c至少基于所述一个或多个束轮廓gf,1...N、所述带电粒子束的探针电流IP和所述带电粒子束的着陆电势LE来确定所述带电粒子束11的所述亮度Br。任选地，如上确定的所述亮度Br可用于确定所述带电粒子束11的源105的尺寸Dvirt。另外，提供了一种被配置用于本文所述的方法中的任一者的带电粒子束成像装置100。
本发明授权确定带电粒子束的亮度的方法、确定带电粒子束的源的大小的方法和带电粒子束成像装置在权利要求书中公布了：1.一种确定在带电粒子束成像装置中由聚焦透镜朝样品聚焦的带电粒子束的亮度的方法，所述方法包括： a用所述带电粒子束成像装置拍摄所述样品的一个或多个图像； b从所述一个或多个图像检索所述带电粒子束的一个或多个束轮廓；以及 c确定所述带电粒子束的所述亮度，其中 在a中，当所述样品布置在所述带电粒子束的束焦点处时，拍摄所述样品的至少一个图像， 在b中，从所述至少一个图像检索聚焦束轮廓，并且 在c中，至少基于所述聚焦束轮廓、所述带电粒子束的数值孔径、所述带电粒子束的探针电流和所述带电粒子束的着陆电势，通过公式计算方法和亮度拟合方法中的至少一种来确定所述带电粒子束的所述亮度。
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