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龙图腾网获悉浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司申请的专利可调节衬底表面厚度均匀性的硅外延反应设备及工艺获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118219088B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410214388.9，技术领域涉及：B24B7/22；该发明授权可调节衬底表面厚度均匀性的硅外延反应设备及工艺是由徐新华设计研发完成，并于2024-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本可调节衬底表面厚度均匀性的硅外延反应设备及工艺在说明书摘要公布了：本发明涉及硅加工设备技术领域，具体公开了可调节衬底表面厚度均匀性的硅外延反应设备及工艺，包括设置在外延反应机体内用于调整衬底表面厚度的调节机构，调节机构包括电动推杆，固定设于外延反应设备的顶部，且电动推杆的伸缩轴延伸至外延反应机体内，电动推杆的伸缩轴固定设有十字安装板，本发明通过调节机构的驱动组件和限位组件等便于同步带动多个第一打磨块和第二打磨块转动，从而便于对多个衬底进行表面厚度调整，提高调整效率，且便于对不同尺寸的衬底进行表面厚度调整，提高适用性，通过辅助机构和连接组件配合，便于调整第一打磨块和第二打磨块的高度，从而适用于不同厚度的衬底使用。

本发明授权可调节衬底表面厚度均匀性的硅外延反应设备及工艺在权利要求书中公布了：1.可调节衬底表面厚度均匀性的硅外延反应设备，包括外延反应机体，其特征在于，还包括设置在外延反应机体内用于调整衬底表面厚度的调节机构，调节机构包括； 电动推杆，固定设于外延反应设备的顶部，且电动推杆的伸缩轴延伸至外延反应机体内，电动推杆的伸缩轴固定设有十字安装板，十字安装板的顶部设置有环形阵列排布的连接组件，连接组件的底部设置有第一打磨块和第二打磨块，且第二打磨块位于第一打磨块的内侧，第一打磨块和第二打磨块的侧壁设置有用于调整第一打磨块和第二打磨块高度位置的辅助机构，连接组件的顶部设置有用于驱动第一打磨块和第二打磨块转动的驱动组件，驱动组件的内侧设置有用于调节第一打磨块和第二打磨块转动的限位组件，辅助机构包括； 第二辅助组件，设置于第二打磨块的侧壁，用于调整第二打磨块的高度； 第一辅助组件，设置于第一打磨块的侧壁，用于调整第一打磨块的高度，所述连接组件包括； 第一轴承座，固定套设于十字安装板的顶部，第一轴承座的内壁设置有第一轴承，第一轴承的外圈外壁与第一轴承座的内壁固定连接，第一轴承内圈内壁固定设有连接件，连接件的底部固定设有延伸至十字安装板底部的插块，所述第一打磨块和第二打磨块的顶部均开设有与插块相适配的插槽，插块的横截面呈正六边形设计，所述驱动组件包括； 伺服电机，固定设于十字安装板的侧壁，伺服电机的输出轴通过联轴器固定设有第一转轴，第一转轴的侧壁设置有传动结构，十字安装板的顶部固定设有基座，基座的顶部转动设有第一齿圈、第二齿圈、第三齿圈和第四齿圈，第一齿圈和第二齿圈相互靠近的一侧滑动连接，第三齿圈和第四齿圈相互靠近的一侧滑动连接，基座的顶部且位于第二齿圈和第三齿圈相互靠近的一侧转动设有第二转轴，第二转轴的侧壁固定套设有与第二齿圈和第三齿圈啮合的第一齿轮，传动结构用于传动第一转轴和第二转轴，以使伺服电机的输出轴带动第一齿轮转动，伺服电机的外壁固定设有防护壳，防护壳的外壁与十字安装板的侧壁固定连接，且第一转轴的侧壁与防护壳的内壁转动连接，所述驱动组件还包括； 第二齿轮，呈环形阵列固定套设于连接件的侧壁上端，且位于第一齿圈的外侧，并与第一齿圈啮合，用于传动带动第二打磨块转动； 第三齿轮，呈环形阵列固定套设于连接件的侧壁上端，且位于第四齿圈的内侧，并与第四齿圈啮合，用于传动带动第一打磨块转动，所述限位组件包括； 限位半槽，开设于第一齿圈、第二齿圈、第三齿圈和第四齿圈的顶部，第一齿圈和第二齿圈顶部的限位半槽、第三齿圈和第四齿圈顶部的限位半槽对齐形成完整的限位槽； 限位块，套设于限位半槽对齐形成的限位槽内，且限位块的横截面呈长方形设计，并且与限位槽相适配； 连板，固定设于第一齿圈、第二齿圈、第三齿圈和第四齿圈的顶部，且位于限位半槽的外侧，连板和限位块的侧壁均开设有相适配的螺孔； 环形滑块，固定设于第二齿圈和第四齿圈的外壁，所述第一齿圈和第三齿圈的内壁均开设有与环形滑块相适配的环形滑槽，环形滑块放置在环形滑槽内。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司，其通讯地址为：323000 浙江省丽水市莲都区南明山街道绿谷大道309号国际车城15号楼11层-241；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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