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龙图腾网获悉科磊股份有限公司申请的专利增强重叠计量的性能获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118311056B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410419802.X，技术领域涉及：G01N21/956；该发明授权增强重叠计量的性能是由A·玛纳森;A·V·希尔;Y·瓦克宁;Y·西蒙;D·内格里;V·莱温斯基;Y·帕斯卡维尔;A·戈洛塔斯万;N·罗斯曼;N·K·雷迪;N·本大卫;A·阿布拉莫夫;D·雅科夫;Y·于齐耶尔;N·古特曼设计研发完成，并于2021-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本增强重叠计量的性能在说明书摘要公布了：本申请涉及增强重叠计量的性能。一种用于计量的方法包含引导至少一个照明射束照明半导体晶片，在所述半导体晶片上已相继沉积了至少第一经图案化层及第二经图案化层，包含所述第一经图案化层中的第一目标特征及所述第二经图案化层中的重叠在所述第一目标特征上的第二目标特征。在使一或多个成像参数变化的同时捕获所述第一目标特征及所述第二目标特征的一序列的图像，此变化是在整个所述序列期间发生。处理所述序列中的所述图像，以便识别所述图像中所述第一目标特征及所述第二目标特征的相应对称中心且测量所述对称中心随变化的图像参数的变化。在测量所述第一经图案化层与所述第二经图案化层之间的重叠误差时应用经测量变化。

本发明授权增强重叠计量的性能在权利要求书中公布了：1.一种光学设备，其包括： 照明组合件，其经配置以将一或多个照明射束引导到半导体晶片； 成像组合件，其包括： 第一检测器，其经配置以用第一成像参数对所述半导体晶片进行成像；以及 第二检测器，其经配置以用不同于所述第一成像参数的第二成像参数对所述半导体晶片进行成像；以及 控制器，其包含一或多个处理器，所述一或多个处理器经配置以： 从所述第一和第二检测器接收一序列图像，其中所述第一成像参数或所述第二成像参数中的至少一者跨所述一序列图像变化以在所述半导体晶片上的一或多个位置处提供变化的图像参数； 基于所述一序列图像，提供指示第一和第二目标特征随所述变化的成像参数的对称中心CoS变化的度量，其中所述第一和第二目标特征至少部分重叠； 识别小于一或多个预定义限制的所述度量所针对的所述变化的图像参数的值的图谱特征； 生成计量测量的方案，在所述方案中所述变化的成像参数设置为所述图谱特征内的值；以及 基于所述方案生成与一或多个生产晶片相关的一或多个计量测量。

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