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南京大学顾书林获国家专利权

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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种热丝架构及化学气相沉积设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118726941B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410722494.8,技术领域涉及:C23C16/44;该发明授权一种热丝架构及化学气相沉积设备是由顾书林;朱顺明;刘松民;汤琨;叶建东;谢自力;张荣设计研发完成,并于2024-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

一种热丝架构及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了:本申请提供一种热丝架构及化学气相沉积设备,属于热丝化学气相沉积领域。本申请提供的一种热丝架构,包括热丝、第一支撑结构及第二支撑结构;第一支撑结构与第二支撑结构沿第一方向间隔设置;第一支撑结构包括多个第一固定柱,多个第一固定柱沿第二方向间隔排布,第二支撑结构包括多个第二固定柱,多个第二固定柱沿第二方向间隔排布;热丝沿第二方向依次交替缠绕多个第一固定柱与多个第二固定柱,以形成热丝阵列。本申请提供的热丝架构极大地简化了结构,降低了对电接触及电源的需求,便于模块化拓展、且热丝的有效利用率较高,损耗相对较低,易于维护更换,降低了使用成本和维护成本,有效地促进热丝CVD金刚石薄膜生长的产业化进程。

本发明授权一种热丝架构及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了:1.一种热丝架构100,其特征在于,包括热丝110、第一支撑结构120及第二支撑结构130; 所述第一支撑结构120与所述第二支撑结构130沿第一方向间隔设置; 所述第一支撑结构120包括多个第一固定柱121,多个所述第一固定柱121沿第二方向间隔排布,所述第二支撑结构130包括多个第二固定柱131,多个所述第二固定柱131沿所述第二方向间隔排布; 所述热丝110沿所述第二方向依次交替缠绕多个所述第一固定柱121与多个所述第二固定柱131,以串联拉伸形成热丝阵列111,其中所述热丝110仅在其位于所述热丝阵列111在第二方向上的两端用于与电极组件200电连接、其余部分与各部件绝缘; 所述热丝架构100还包括第一调节组件140,所述第一调节组件140连接于所述第一支撑结构120,用于带动所述第一支撑结构120在所述第一方向上运动,以调节所述热丝阵列111的张力;和或所述热丝架构100还包括第二调节组件150,所述第二调节组件150连接于所述第二支撑结构130,用于带动所述第二支撑结构130在所述第一方向上运动,以调节所述热丝阵列111的张力; 所述第一调节组件140包括第一安装柱141及第一弹性件142,所述第一弹性件142在所述第一方向上位于所述第一安装柱141与所述第一支撑结构120之间并连接于所述第一安装柱141与所述第一支撑结构120;和或所述第二调节组件150包括第二安装柱151及第二弹性件152,所述第二弹性件152在所述第一方向上位于所述第二安装柱151与所述第二支撑结构130之间并连接于所述第二安装柱151与所述第二支撑结构130; 所述热丝架构100还包括导向结构160,所述导向结构160滑动连接于所述第一支撑结构120和所述第二支撑结构130,以使所述第一支撑结构120和所述第二支撑结构130能够在所述第一方向上相对所述导向结构160滑动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京大学,其通讯地址为:210023 江苏省南京市栖霞区仙林大道163号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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