南京大学顾书林获国家专利权
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龙图腾网获悉南京大学申请的专利一种热丝模组及化学气相沉积设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118726942B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410728571.0，技术领域涉及：C23C16/44；该发明授权一种热丝模组及化学气相沉积设备是由顾书林;朱顺明;刘松民;汤琨;叶建东;谢自力;张荣设计研发完成，并于2024-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种热丝模组及化学气相沉积设备在说明书摘要公布了：本申请提供一种热丝模组及化学气相沉积设备，属于热丝化学气相沉积领域。本申请的热丝模组，包括第一热丝阵列、第二热丝阵列、第一支撑结构及第二支撑结构；第一支撑结构包括多个第一固定柱，多个第一固定柱沿第二方向间隔排布，第二支撑结构包括多个第二固定柱，多个第二固定柱沿第二方向间隔排布；第一热丝阵列和第二热丝阵列分别形成于多个第一固定柱与多个第二固定柱沿第三方向的两端。本申请提供的热丝模组，可实现基体两面金刚石薄膜的同时生长，极大地提高了HFCVD设备的生长效率，且模块化拓展；进一步采用双层气流技术，可实现金刚石薄膜的高效掺杂，有效降低环保与安全的成本支出。
本发明授权一种热丝模组及化学气相沉积设备在权利要求书中公布了：1.一种热丝模组100，其特征在于，包括第一热丝阵列111、第二热丝阵列112、第一支撑结构120及第二支撑结构130； 所述第一支撑结构120与所述第二支撑结构130沿第一方向间隔设置； 所述第一支撑结构120包括多个第一固定柱121，多个所述第一固定柱121沿第二方向间隔排布，所述第二支撑结构130包括多个第二固定柱131，多个所述第二固定柱131沿所述第二方向间隔排布； 所述第一热丝阵列111由一根热丝沿所述第二方向依次交替缠绕多个所述第一固定柱121与多个所述第二固定柱131沿第三方向的一端形成，所述第二热丝阵列112由一根热丝沿所述第二方向依次交替缠绕多个所述第一固定柱121与多个所述第二固定柱131沿第三方向的另一端形成，其中所述一根热丝仅沿第二方向的两端分别用于与电极组件200电连接，且其余部分与所述第一固定柱121及所述第二固定柱131绝缘。
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