北京北方华创微电子装备有限公司杨恒积获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118732614B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310343435.5，技术领域涉及：G05B19/418；该发明授权工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备是由杨恒积;刘丹设计研发完成，并于2023-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备在说明书摘要公布了：本发明提供了工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备；其中，该方法包括：FA端设备获取工厂端主机发送的管理消息，并对管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息；FA端设备通过MessageServices将操作信息经上位机转发至下位机，以使下位机根据操作信息对Recipe进行操作处理；FA端设备获取第一操作结果信息，并将第一操作结果信息发送至工厂端主机，从而通过在FA端设备中新增E42标准的消息服务MessageServices，实现了工厂端按照SEMIE42标准的方式来管理Recipe，提高了工厂自动化程度。
本发明授权工艺配方的管理控制方法、装置及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种工艺配方的管理控制方法，其特征在于，应用于存储有工厂自动化FA的FA端设备；其中，所述FA端设备采用E30标准，并设置有E42标准的消息服务MessageServices；所述方法包括： 获取工厂端主机发送的管理消息，并对所述管理消息进行解析，得到操作信息和标识信息； 通过所述MessageServices将所述操作信息经上位机转发至下位机，以使所述下位机根据所述操作信息对存储的工艺配方Recipe进行操作处理，并将得到的第一操作结果信息发送至所述上位机； 获取所述上位机发送的所述第一操作结果信息，并将所述第一操作结果信息发送至所述工厂端主机，以实现所述工厂端主机对所述Recipe的管理。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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