聚时科技(上海)有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉聚时科技(上海)有限公司申请的专利一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118777265B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410909069.X,技术领域涉及:G01N21/49;该发明授权一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质是由请求不公布姓名;韩建勋;吴昌力设计研发完成,并于2024-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体前道检测技术领域,尤其是涉及一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质。通过建立反射镜光轴与点光源位置映射关系,然后用点光源位置表征系统光轴,再使用相机实时采集图像,基于图像中特征的表达实现对于传感器固定位置的初步调整。基于实时图像处理,实时反馈调试数据,调试过程迅速准确,调试的位置精度较高的技术效果。
本发明授权一种散射激光收集调试系统、调试方法、设备及存储介质在权利要求书中公布了:1.一种散射激光收集调试系统,应用于散射激光收集系统,所述散射激光收集系统包括光电倍增管,其特征在于,所述调试系统沿主光轴依次设置有: 背光模组,配置有标定图案以及用于产生点光源; 椭圆镜,用于对所述点光源进行反射,形成反射光; 传感器放置位,用于可选择的放置图像采集装置或所述光电倍增管,并调节所述图像采集装置的俯仰角和实时高度,所述图像采集装置用于接收所述反射光成像获取实时图像;所述图像采集装置包括由相机和镜头组成的第一装置,还包括仅有相机的第二装置;所述第一装置的视场覆盖标定图案和椭圆镜底部,所述第二装置的视场不覆盖所述椭圆镜底部;所述第一装置接收所述反射光并获取包含标定图案和椭圆镜底部轮廓的第一实时图像,所述第二装置接收所述反射光并获取包含部分标定图案的第二实时图像; 控制器,与所述传感器放置位连接,基于所述实时图像中多个标志点的图像特征,调节所述传感器放置位的俯仰角和相对所述背光模组的距离,以及背光模组的位置;所述控制器基于第一装置采集的第一实时图像中多个标志点的图像特征,调节所述传感器放置位的俯仰角以及背光模组的位置;基于第二装置采集的第二实时图像中多个标志点的图像特征,调节传感器放置位相对所述背光模组的距离。
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