北京北方华创微电子装备有限公司闫士泉获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN118855363B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310477177.X，技术领域涉及：E06B7/16；该发明授权半导体处理设备是由闫士泉;方洋;袁和传设计研发完成，并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种半导体处理设备，包括：箱体，一面设有开口；箱门，通过铰接组件可打开地设置于所述开口处；环形密封垫，设置于所述箱门和所述箱体之间，用于在所述箱门关闭所述箱体后对所述开口进行密封；关门时，所述箱门通过所述铰接组件做旋转运动，并运动至所述箱门与所述箱体平行，然后向垂直于所述箱体的方向做靠近所述箱体的直线运动以挤压所述环形密封垫，将所述开口关闭并密封。本申请通过环形密封垫对箱体进行密封，并且箱门通过铰接组件实现旋转运动和直线运动，同时解决了环形密封垫在箱门关闭的过程中发生扭曲变形的问题，可以改善半导体处理设备箱门的密封性。
本发明授权半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体处理设备，其特征在于，包括： 箱体，一面设有开口； 箱门，通过铰接组件可打开地设置于所述开口处； 环形密封垫，设置于所述箱门和所述箱体之间，用于在所述箱门关闭所述箱体后对所述开口进行密封； 关门时，所述箱门通过所述铰接组件做旋转运动，并运动至所述箱门与所述箱体平行，然后向垂直于所述箱体的方向做靠近所述箱体的直线运动以挤压所述环形密封垫，将所述开口关闭并密封； 所述铰接组件包括： 固定座，靠近所述开口与所述箱体固定连接； 旋转臂，与所述固定座铰接； 滑块，与所述箱门固定连接，并且所述滑块可滑动地与所述旋转臂连接； 所述箱门通过所述旋转臂做旋转运动，以及通过所述滑块做相对于所述旋转臂的直线运动。
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