聚时科技(上海)有限公司王奇获国家专利权
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龙图腾网获悉聚时科技(上海)有限公司申请的专利一种检测系统、检测控制方法、缺陷检测设备及检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119246543B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411079379.X，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权一种检测系统、检测控制方法、缺陷检测设备及检测方法是由王奇;吴昌力设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种检测系统、检测控制方法、缺陷检测设备及检测方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体前道检测技术领域，涉及微分干涉检测技术，尤其是涉及一种检测系统、检测控制方法、缺陷检测设备及检测方法。可以根据检测需求对成型光斑进行大小调节，从而使干涉信号得到增强，提高检测结果准确性和检测效率。
本发明授权一种检测系统、检测控制方法、缺陷检测设备及检测方法在权利要求书中公布了：1.一种检测系统，其特征在于，包括： 分束棱镜，使入射光束分为第一射束和第二射束，所述第一射束和所述第二射束具有圆形横截面，且在待测物面形成对应的第一光斑和第二光斑，所述第一光斑和所述第二光斑具有不同的偏振方向； 控制器，用于调节所述第一光斑和所述第二光斑的中心间距和横截面尺寸，使所述第一光斑和所述第二光斑的中心间距与光斑直径的差值大于缺陷尺寸，且第一光斑和第二光斑的中心间距小于光斑直径；所述缺陷尺寸基于检测任务确定。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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