安徽光智科技有限公司蔡宇轩获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽光智科技有限公司申请的专利锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119247526B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411279967.8,技术领域涉及:G02B1/115;该发明授权锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法是由蔡宇轩;刘克武;王振;李满仕;尹士平设计研发完成,并于2024-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法在说明书摘要公布了:提供一种锗基底2‑13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法。锗基底2‑13μm中远红外增透薄膜的设计方法包括:选定6.5μm作为光学薄膜设计14波长膜厚的参考波长,使用膜堆公式:Sub0.04L0.3H0.1L0.3H0.2L0.2H0.3L0.1H0.5L0.03M0.2L0.2M0.15L0.6M0.02QAIR,Sub为锗基底,AIR代表空气,H代表14波长膜厚的Ge,L代表14波长膜厚的ZnS,M代表14波长膜厚的YF3,Q代表14波长膜厚的Y2O3;软件对膜厚优化,得最佳的膜厚,优化后的锗基底2‑13μm波段的透过率符合要求;将优化后的膜厚输入镀膜机的控制电脑。锗基底2‑13μm中远红外增透薄膜的制备方法包括:S1,镀前清洁及膜料准备;S2,膜系工艺参数配置;S3,抽真空烘烤及膜料预熔恒温;S4,离子源清洗;S5,膜层镀制及监控;S6,镀后恒温保持;S7,降温取件;S8,重复步骤S1至步骤S7,第二面镀制。
本发明授权锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法以及制备方法在权利要求书中公布了:1.一种锗基底2-13μm中远红外增透薄膜的设计方法,其特征在于,包括步骤: Sa,选定6.5μm作为光学薄膜设计14波长膜厚的参考波长,使用膜堆公式: Sub0.04L0.3H0.1L0.3H0.2L0.2H0.3L0.1H0.5L0.03M0.2L0.2M0.15L0.6M0.02QAIR, 其中,Sub为锗基底,AIR代表空气,H代表14波长膜厚的高折射率材料Ge锗,L代表14波长膜厚的中间折射率材料ZnS硫化锌,M代表14波长膜厚的低折射率材料YF3氟化钇,Q代表14波长膜厚的膜层最外层材料Y2O3氧化钇; Sb,通过设计软件对膜层膜厚进行计算优化,得到最佳的膜层的膜厚,优化后的锗基底2-13μm中远红外波段的透过率符合要求; Sc,将优化后的膜层的膜厚输入至镀膜机的控制电脑中; 在步骤Sb中,针对锗基底的两面中的每一面,最佳的膜层的膜厚为: 第一层ZnS膜层的膜厚为26.25±3nm, 第二层Ge膜层的膜厚为103.16±3nm, 第三层ZnS膜层的膜厚为71.92±3nm, 第四层Ge膜层的膜厚为102.24±3nm, 第五层ZnS膜层的膜厚为120.86±3nm, 第六层Ge膜层的膜厚为70.99±3nm, 第七层ZnS膜层的膜厚为185.15±3nm, 第八层Ge膜层的膜厚为33.83±3nm, 第九层ZnS膜层的膜厚为337.30±3nm, 第十层YF3膜层的膜厚为29.96±3nm, 第十一层ZnS膜层的膜厚为157.82±3nm, 第十二层YF3膜层的膜厚为204.99±3nm, 第十三层ZnS膜层的膜厚为95.64±3nm, 第十四层YF3膜层的膜厚为602.18±3nm, 第十五层Y2O3膜层的膜厚为20±5nm; 在步骤Sb中,优化后的锗基底2-13μm中远红外波段的透过率平均大于95%。
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