北京北方华创微电子装备有限公司刘东获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利测量装置及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119340243B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411498376.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权测量装置及半导体工艺设备是由刘东;贺政康设计研发完成，并于2024-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本测量装置及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种测量装置及半导体工艺设备，属于测量技术领域。测量装置应用于半导体工艺腔室，半导体工艺腔室包括旋转机械手和沿旋转机械手的旋转轴的周向均匀设置的至少两个加工工位，每一加工工位均设有一个基座，测量装置包括旋转测量机构，旋转测量机构包括旋转板和第一测量组件，旋转板用于与旋转机械手连接，并用于随旋转机械手在各加工工位之间旋转；第一测量组件设于旋转板上，第一测量组件用于测量每个基座的中心的位置。该方案中，通过旋转机械手带动旋转测量机构在各个加工工位之间旋转，使对各个加工工位的基座的中心的位置进行测量，无需反复拆装测量装置，可简化测量操作和减小或消除安装误差，有利于提高测量精度和准确性。
本发明授权测量装置及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种测量装置，应用于半导体工艺腔室，所述半导体工艺腔室包括旋转机械手和沿所述旋转机械手的旋转轴300的周向均匀设置的至少两个加工工位110，且每一所述加工工位110均设置有一个基座200，其特征在于，所述测量装置包括旋转测量机构800，所述旋转测量机构800包括： 旋转板810，所述旋转板810用于与所述旋转机械手连接，所述旋转板810用于随所述旋转机械手在各所述加工工位110之间旋转； 第一测量组件820，设置于所述旋转板810上，所述第一测量组件820用于测量每个所述基座200的中心的位置。
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