北京北方华创微电子装备有限公司李巍获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利调度方法、调度设备及半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400730B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411488702.9，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权调度方法、调度设备及半导体工艺设备是由李巍;周广才;王蔚设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本调度方法、调度设备及半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种调度方法、调度设备及半导体工艺设备，调度方法包括：获取可用工艺腔室资源；可用工艺腔室资源包括预释放工艺腔室；预释放工艺腔室的获取过程包括：若检测到当前生产任务的最后一片晶圆出片，则将被当前生产任务占用的工艺腔室释放，以得到预释放工艺腔室；基于待分配的生产任务中目标工艺任务的工艺路径和可用工艺腔室资源，为目标工艺任务进行资源分配；基于得到资源分配的目标工艺任务，生成对应的调度序列。如此，在生产任务的最后一片晶圆出片时即对被生产任务占用的工艺腔室进行释放，可以保证工艺腔室资源能够被连续使用，有效提高了对腔室资源的利用率，为提升半导体的制备效率提供了保障。
本发明授权调度方法、调度设备及半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种调度方法，其特征在于，应用于半导体工艺设备，所述半导体工艺设备配置有至少一个工艺腔室；所述方法包括： 获取可用工艺腔室资源；所述可用工艺腔室资源包括预释放工艺腔室；所述预释放工艺腔室的获取过程包括：若检测到当前生产任务的最后一片晶圆出片，则将被当前生产任务占用的工艺腔室释放，以得到所述预释放工艺腔室； 基于待分配的生产任务中目标工艺任务的工艺路径和所述可用工艺腔室资源，为所述目标工艺任务进行资源分配； 基于得到资源分配的目标工艺任务，生成对应的调度序列；所述调度序列用于调度晶圆和被分配的腔室资源。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励