北京北方华创微电子装备有限公司任晓滨获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利冷却装置及半导体处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119495592B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202311036101.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权冷却装置及半导体处理设备是由任晓滨;刘敬彬;夏俊涵设计研发完成，并于2023-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本冷却装置及半导体处理设备在说明书摘要公布了：本申请公开了一种冷却装置及半导体处理设备，冷却装置包括至少一个冷却结构；冷却结构包括石墨盒，以及用于承载石墨盒的托盘；石墨盒包括：下盒体，设置有至少三个第一通孔；上盒体，盖合在下盒体上，并与下盒体之间形成一用于容置晶圆的容置空间；当晶圆置于容置空间时，第一通孔避让晶圆；托盘包括：支撑板；与第一通孔一一对应的第一顶针，设置于支撑板的顶面，用于当石墨盒放置于支撑板时贯穿对应的第一通孔并将上盒体顶起，以使上盒体和下盒体分离。本实施例的冷却装置，在进行晶圆冷却时，可以同时打开石墨盒，可以提高晶圆的冷却速度，并且无需单独的打开石墨盒的动作，操作简单。
本发明授权冷却装置及半导体处理设备在权利要求书中公布了：1.一种冷却装置，其特征在于，包括至少一个冷却结构；所述冷却结构包括石墨盒，以及用于承载所述石墨盒的托盘； 所述石墨盒包括： 下盒体，设置有至少三个第一通孔； 上盒体，盖合在所述下盒体上，并与所述下盒体之间形成一用于容置晶圆的容置空间；当晶圆置于所述容置空间时，所述第一通孔避让所述晶圆； 所述托盘包括： 支撑板，用于支撑所述石墨盒 与所述第一通孔一一对应的第一顶针，所述第一顶针设置于所述支撑板面向所述石墨盒一侧，用于当所述石墨盒放置于所述支撑板时贯穿对应的所述第一通孔并将所述上盒体顶起，以使所述上盒体和所述下盒体分离。
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