北京北方华创微电子装备有限公司郑帅获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利连接组件和半导体工艺设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119876919B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510067169.7，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权连接组件和半导体工艺设备是由郑帅设计研发完成，并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本连接组件和半导体工艺设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种连接组件和半导体工艺设备，属于半导体加工技术领域，连接组件连接于工艺腔室和传输腔室之间，连接组件包括连接板、第一密封圈和第二密封圈，连接板设有传输口，传输口沿连接板的厚度方向贯穿连接板设置，且连接板朝向工艺腔室的第一表面设有第一密封槽和第二密封槽，第二密封槽环绕设置于第一密封槽之外，第一密封圈设置于第一密封槽，第二密封圈设置于第二密封槽，且第一密封圈和第二密封圈均用以密封连接连接板的第一表面与工艺腔室。上述连接组件可以解决目前的半导体工艺设备中，设置于工艺腔室和连接板之间的密封圈容易失效的问题。
本发明授权连接组件和半导体工艺设备在权利要求书中公布了：1.一种连接组件，连接于工艺腔室400和传输腔室500之间，其特征在于，所述连接组件包括连接板100、第一密封圈210和第二密封圈220，所述连接板100设有传输口112，所述传输口112沿所述连接板100的厚度方向贯穿所述连接板100设置，且所述连接板100朝向所述工艺腔室400的第一表面设有第一密封槽111a、第二密封槽111b和第三沉台116c，所述第三沉台116c环绕所述第一密封槽111a设置，且所述第二密封槽111b环绕所述第三沉台116c设置，所述第一密封圈210设置于所述第一密封槽111a，所述第二密封圈220设置于所述第二密封槽111b，且所述第一密封圈210和所述第二密封圈220均用以密封连接所述连接板100的第一表面与所述工艺腔室400。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司，其通讯地址为：100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励