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龙图腾网获悉中国计量科学研究院申请的专利一种基于光致发光原理的晶圆表面高精度测温方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120109059B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510601433.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权一种基于光致发光原理的晶圆表面高精度测温方法及装置是由孙建平;王光耀;李婷设计研发完成，并于2025-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于光致发光原理的晶圆表面高精度测温方法及装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于光致发光原理的晶圆表面高精度测温方法及装置，在晶圆表面涂覆荧光或磷光材料，材料受外部光源激发后会发出荧光或磷光，结合关键点位布置的温度传感器完成涂覆晶圆的标定，推算出整个晶圆表面的高时空分辨温度响应特性，据此可以实现高精度、高时空分辨的晶圆测温。

本发明授权一种基于光致发光原理的晶圆表面高精度测温方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种基于光致发光原理的晶圆表面高精度测温方法，其特征在于，包括如下步骤： S1、在已涂覆荧光或磷光材料8的晶圆9的表面的设定点位上布置温度传感器11，所述温度传感器11包括有多个； S2、在不同的标准温度点下分别执行如下晶圆表面测温过程： 可调谐激光源6发出特定波长的激发光，激发光通过反射镜片7反射到晶圆9的表面，所述晶圆9的表面涂覆的荧光或磷光材料8被激发光激发，产生特定波长的光信号； 凸透镜片5对晶圆9表面出射的光信号进行会聚处理；经凸透镜片5会聚后的光信号进一步通过滤光片组4，滤光片组4过滤掉光信号中的噪声成分，仅保留荧光或磷光材料8产生的光信号；经过滤光片组4过滤后得到的纯净光信号最终到达探测器1，探测器1将捕捉到的纯净光信号转换为对应的电信号，并将电信号传输至计算机3；时序控制器2通过时间控制机制协调可调谐激光源6的工作时间与探测器1的信号采集时间，控制可调谐激光源6在设定的时间间隔内发出稳定的激发光，同时控制探测器1能够在设定的最佳时间窗口内进行信号采集； S3、各温度传感器11同时将在所在点位上获得的温度数值传输至计算机3； S4、通过步骤S2和S3，计算机3得到在不同的标准温度点下的电信号与温度传感器测得的温度数据的对应关系，进一步通过数学算法拟合方程，即可得到电信号与温度的量化关系； S5、进行实际测温时，在需要测温的晶圆表面涂覆经过标定的荧光或磷光材料8，然后按照步骤S2执行晶圆表面测温过程，计算机3利用步骤S4中通过数学算法拟合得到的方程，根据接收到的电信号推算出晶圆表面的温度数据。

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