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龙图腾网获悉合肥工业大学申请的专利具有自检功能的MEMS三轴加速度计及制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120161215B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510340223.0，技术领域涉及：G01P15/125；该发明授权具有自检功能的MEMS三轴加速度计及制备方法是由许高斌;关存贺;李文婷;马渊明;陈兴;陈士荣;孙百川;任政设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本具有自检功能的MEMS三轴加速度计及制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种具有自检功能的MEMS三轴加速度计，包括盖帽层、结构层和衬底层，结构层夹合封装在盖帽层和衬底层之间，结构层包括均具有自检功能的X轴加速度检测阵列、Z轴加速度检测阵列和Y轴加速度检测阵列，结构层中部开设有Z轴敏感结构释放槽，Z轴加速度检测阵列可沿Z轴敏感结构释放槽进行Z轴方向的位移，Z轴加速度检测阵列的一侧开设有X轴敏感结构释放槽，X轴加速度检测阵列可沿X轴敏感结构释放槽进行X轴方向的位移，Z轴加速度检测阵列的另一侧开设有Y轴敏感结构释放槽，Y轴加速度检测阵列可沿Y轴敏感结构释放槽进行Y轴方向的位移。本发明的加速度计具有自检功能，可以施加已知信号，用于检测传感器在不同工况下的响应。

本发明授权具有自检功能的MEMS三轴加速度计及制备方法在权利要求书中公布了：1.一种具有自检功能的MEMS三轴加速度计，其特征在于：包括盖帽层1、结构层2和衬底层3，所述结构层2夹合封装在所述盖帽层1和所述衬底层3之间，所述结构层2包括均具有自检功能的X轴加速度检测阵列4、Z轴加速度检测阵列5和Y轴加速度检测阵列6，所述结构层2中部开设有Z轴敏感结构释放槽，所述Z轴加速度检测阵列5可沿Z轴敏感结构释放槽进行Z轴方向的位移，所述Z轴加速度检测阵列5的一侧开设有X轴敏感结构释放槽，所述X轴加速度检测阵列4可沿X轴敏感结构释放槽进行X轴方向的位移，所述Z轴加速度检测阵列5的另一侧开设有Y轴敏感结构释放槽，所述Y轴加速度检测阵列6可沿Y轴敏感结构释放槽进行Y轴方向的位移； 所述X轴加速度检测阵列4包括有多组沿Y轴方向平行排列的X轴敏感单元7，所述X轴敏感单元7包括X轴敏感质量块701、两组X轴折叠梁结构702、X轴中心锚点703，四组X轴固定电极一705和四组X轴固定电极二706，所述X轴中心锚点703设在所述X轴敏感质量块701中部，所述X轴中心锚点703沿X轴方向的两端分别通过两组所述X轴折叠梁结构702与所述X轴敏感质量块701连接，两组所述X轴折叠梁结构702沿X轴中心锚点703的中心对称，所述X轴中心锚点703沿X轴方向的两侧均设置有两列X轴差分检测结构，所述X轴差分检测结构包括相互沿X轴平行的一组X轴固定电极一705和X轴固定电极二706，所述X轴固定电极一705和所述X轴固定电极二706远离所述X轴中心锚点703的一侧等间距设有多组固定梳齿，所述X轴敏感质量块701对应固定梳齿位置处设有多组与所述固定梳齿等间隔设置的可动梳齿，所述X轴中心锚点703、X轴固定电极一705和X轴固定电极二706分别通过键合的方式与所述盖帽层1和所述衬底层3固定； 远离所述X轴中心锚点703位置处的所述X轴差分检测结构安装有X轴自检结构； 所述Y轴加速度检测阵列6包括多组沿Y轴方向平行排列的Y轴敏感单元，所述Y轴敏感单元与所述X轴敏感单元7绕中心点旋转90°构成的结构相同； 所述Z轴加速度检测阵列5包括多组沿Y轴方向平行排列的Z轴敏感单元8，所述Z轴敏感单元8包括Z轴检测质量块801、Z轴中心锚点803和Z轴扭转十字梁结构804，所述Z轴中心锚点803设在所述Z轴检测质量块801的中部，所述Z轴中心锚点803沿Y轴方向的两端分别通过两组所述Z轴扭转十字梁结构804与所述Z轴检测质量块801连接，所述Z轴中心锚点803通过键合的方式分别与所述盖帽层1和所述衬底层3固定，所述衬底层3对应Z轴检测质量块801位置处设有Z轴固定电极一307和Z轴固定电极二308，所述Z轴固定电极一307和所述Z轴固定电极二308沿所述Z轴中心锚点803对称分布； 所述Z轴固定电极一307远离所述Z轴中心锚点803的一侧设有Z轴自检电极一309，所述Z轴固定电极二308远离所述Z轴中心锚点803的一侧设有Z轴自检电极二310，所述Z轴自检电极一309和所述Z轴自检电极二310位于所述Z轴检测质量块801的正下方； 所述Z轴检测质量块801的一侧设有Z轴不平衡质量块802，相邻的所述Z轴敏感单元8中Z轴不平衡质量块802位于相反侧。

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