香港大学;北京大学东莞光电研究院;南方科技大学褚智勤获国家专利权
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龙图腾网获悉香港大学;北京大学东莞光电研究院;南方科技大学申请的专利一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120677268B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202480004731.5，技术领域涉及：C23C16/27；该发明授权一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法是由褚智勤;景纪祥;林原;王琦;王忠强;李携曦设计研发完成，并于2024-08-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法，包括：1采用化学气相沉积法在表面具有金刚石晶种的生长衬底上生长一层多晶金刚石膜；2将生长后的衬底裁剪下至少一部分，形成多晶金刚石膜与生长衬底接合的分界线；3粘贴剥离胶带；4拉动剥离胶带将多晶金刚石膜从生长衬底表面剥离下来，以使多晶金刚石膜的成核表面暴露，其中，暴露后的成核表面的粗糙度小于生长表面的粗糙度。本发明通过将生长的多晶金刚石膜的成核表面翻转过来，开发了一种新颖而简便的方法来制造价格合理、可规模化生长、超平坦且可转移的多晶金刚石膜，在实际应用中具有巨大潜力。
本发明授权一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种规模化制造超平多晶金刚石膜的方法，所述方法包括： 1在表面具有金刚石晶种的生长衬底上，采用化学气相沉积法生长一层多晶金刚石膜，其中，所述多晶金刚石膜包含：具有第一粗糙度的生长表面和与所述生长衬底接合的成核表面； 2将表面生长有多晶金刚石膜的生长衬底裁剪下至少一部分，该裁剪操作使得在裁剪处形成多晶金刚石膜与生长衬底接合的分界线； 3将剥离胶带粘贴至所述多晶金刚石膜的生长表面，其中，所述剥离胶带至少在裁剪处的边缘延伸超出所述多晶金刚石膜，以形成剥离操作端； 4拉动所述剥离操作端将所述多晶金刚石膜从所述生长衬底表面剥离下来，以使所述多晶金刚石膜的成核表面暴露，其中，暴露后的所述成核表面具有第二粗糙度，并且所述第二粗糙度小于第一粗糙度。
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