沈阳芯达半导体设备有限公司魏猛获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉沈阳芯达半导体设备有限公司申请的专利一种分体式快拆CHUCK盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120854371B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511088891.5，技术领域涉及：H10P72/78；该发明授权一种分体式快拆CHUCK盘是由魏猛;张爽;李荣禛;张佳男设计研发完成，并于2025-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种分体式快拆CHUCK盘在说明书摘要公布了：本发明提供一种分体式快拆CHUCK盘，属于夹盘领域，具体包括上盘体、吸附腔、引流管、下旋转轴、真空通道和隔断组件，上盘体用于承载晶圆设置有吸附区域，晶圆能够将吸附区域覆盖；吸附腔与吸附区域连通，用于将晶圆进行吸附定位；引流管设置在上盘体上且与吸附腔连通；与现有技术相对比，本发明在对晶圆进行定位时，通过吸附的方式将晶圆进行吸附定位，而当需要对晶圆更换加工环境时，可以将定位盘与下旋转轴进行分离，从而将承载有晶圆的定位盘转移至其他加工环境后，将定位盘与该环境下的下旋转轴进行连接即可，从而无需对晶圆进行拆卸和安装，当晶圆在不同加工环境内定位时，也无需对晶圆的位置进行调整，从而提高了加工效率。
本发明授权一种分体式快拆CHUCK盘在权利要求书中公布了：1.一种分体式快拆CHUCK盘，其特征在于，包括： 上盘体，用于承载晶圆，且设置有吸附区域，晶圆能够将吸附区域覆盖； 吸附腔3，与吸附区域连通，用于将晶圆进行吸附定位； 引流管5，设置在上盘体上且与吸附腔3连通； 下旋转轴1，与上盘体可拆卸连接； 真空通道2，设置在下旋转轴1上，当下旋转轴1与上盘体连接时，使引流管5从真空通道2插入； 隔断组件，设置在引流管5上，当上盘体与下旋转轴1分离时，能够使吸附腔3保持真空状态； 所述隔断组件包括： 分隔片，固定连接在引流管5的内壁上； 过流口，设置在分隔片上，气流能够由过流口经过； 封堵头，位于引流管5内且能够将过流口封堵； 直臂1002，内端与封堵头连接，用于调整封堵头的位置，使封堵头与过流口对齐； 托紧台1204，设置在引流管5的内壁上且弧形延伸，所述托紧台1204对封堵头的下端进行撑托。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人沈阳芯达半导体设备有限公司，其通讯地址为：110000 辽宁省沈阳市苏家屯区桂竹香街68-E3号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
以上内容由龙图腾AI智能生成。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号
请提出您的宝贵建议，有机会获取IP积分或其他奖励