深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司邓荣昌获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司申请的专利一种半导体晶圆研磨环装夹固定装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120862554B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511027883.X,技术领域涉及:B24B37/27;该发明授权一种半导体晶圆研磨环装夹固定装置是由邓荣昌;谢峰;丁玉清;闵元元;周俊新;王兴光设计研发完成,并于2025-07-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆研磨环装夹固定装置在说明书摘要公布了:本发明涉及半导体技术领域,且公开了一种半导体晶圆研磨环装夹固定装置,包括:呈矩形框架状的清洗治具架,内部分割为相邻的大环悬挂仓和小环悬挂仓,位于小环悬挂仓中的两排小研磨环装夹组和位于大环悬挂仓中的两排大研磨环装夹组,小研磨环装夹组和大研磨环装夹组中结构组成相同且均包括挂具载架、对向横移机构、对向竖移机构、两组载销加强竖板和四组挂具V型卡销,四组挂具V型卡销呈矩形阵列分布;其中挂具V型卡销内部可形成不同大小的V型卡槽,用研磨环自身重力结合V型卡销结构巧妙限制了研磨环的自由度,使得研磨环在靠自身重力能牢牢固定于治具上、V型的结构还减少卡销与研磨环的接触面积有效减少了清洗死角。
本发明授权一种半导体晶圆研磨环装夹固定装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆研磨环装夹固定装置,其特征在于,包括: 清洗治具架1,其呈矩形框架状,所述清洗治具架1的内部固定安装有矩形框架2,且矩形框架2将清洗治具架1的内部分割为相邻的大环悬挂仓和小环悬挂仓,所述矩形框架2对应距离清洗治具架1端侧间隔小的为小环悬挂仓,矩形框架2对应距离清洗治具架1端侧间隔小的为大环悬挂仓; 位于小环悬挂仓中的两排小研磨环装夹组和位于大环悬挂仓中的两排大研磨环装夹组,所述小研磨环装夹组和大研磨环装夹组中结构组成相同且均包括挂具载架、对向横移机构、对向竖移机构、两组载销加强竖板5和四组挂具V型卡销6,所述挂具载架设置在矩形框架2与清洗治具架1的两侧端之间,两组所述载销加强竖板5通过对向横移机构呈滑动设置在挂具载架上,且每组载销加强竖板5上均通过对向竖移机构滑动设置有两组上下间隔的挂具V型卡销6,四组所述挂具V型卡销6呈矩形阵列分布; 其中挂具V型卡销6由锥台体一7、锥台体二8、螺纹横轴9和中间锥凸环10组成,所述螺纹横轴9的两端分别固定连接有锥台体一7和锥台体二8,且锥台体一7和锥台体二8相互靠近侧呈锥台面,所述中间锥凸环10螺纹套接在螺纹横轴9上,所述螺纹横轴9的两侧同样为锥台面,所述中间锥凸环10的直径小于锥台体一7和锥台体二8的直径,所述锥台体一7和锥台体二8之间的间隔区域形成大V型卡槽,螺纹横轴9与两侧锥台体一7和锥台体二8之间的间隔空间形成小V型卡槽。
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