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龙图腾网获悉华芯极光(上海)科技有限公司申请的专利一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121038075B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511372851.3，技术领域涉及：H05H1/00；该发明授权一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置是由林楠设计研发完成，并于2025-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置，涉及半导体制造技术领域，所述方法包括：对所述极紫外波段辐射光进行波长选择处理，以分离出单一波长的极紫外光，并对所述单一波长的极紫外光进行会聚，以得到经过会聚的单一波长的极紫外光；将经过会聚的单一波长的极紫外光进行光电转换处理，生成对应的电流信号；对所述电流信号进行采集和处理，根据所述电流信号的时域波形获得所述单一波长极紫外光的时域波形，并根据所述电流信号的积分强度及所述测量立体角计算出等离子体在2π立体角内所述单一波长极紫外光的辐射能量。本发明可同时测量等离子体单一波长极紫外辐射能量和时域波形。

本发明授权一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量方法，其特征在于，所述方法包括： 步骤1，对等离子体极紫外光源所发出的辐射光进行孔径限制，以确定测量立体角；在真空腔室3内部，于等离子体极紫外光源1所发出辐射光的初始传播路径上，固定安装孔径限制部件光阑5；启动等离子体极紫外光源1，光源内部产生高温高密度的等离子体2，等离子体2向外发出宽谱辐射光，当宽谱辐射光传播至光阑5时，通过光阑5上的4毫米小孔继续向后续光路传播，未通过小孔的辐射光被光阑5阻挡； 步骤2，对经过孔径限制后的辐射光进行滤波处理，以获得极紫外波段辐射光； 步骤3，对所述极紫外波段辐射光进行波长选择处理，以分离出单一波长的极紫外光，并对所述单一波长的极紫外光进行会聚，以得到经过会聚的单一波长的极紫外光； 步骤4，将经过会聚的单一波长的极紫外光进行光电转换处理，生成对应的电流信号； 步骤5，对所述电流信号进行采集和处理，根据所述电流信号的时域波形获得所述单一波长极紫外光的时域波形，并根据所述电流信号的积分强度及所述测量立体角计算出等离子体在2π立体角内所述单一波长极紫外光的辐射能量； 具体使用等离子体极紫外辐射能量和时域波形测量装置，包括： 真空维持模块，用于提供并维持极紫外光传输所需的真空环境； 孔径限制模块，设置于所述真空维持模块内，用于对等离子体极紫外光源1所发出辐射光进行孔径限制以确定测量立体角； 滤波模块，设置于所述真空维持模块内，用于对经过所述孔径限制模块处理后的辐射光进行滤波，以获得极紫外波段辐射光； 波长选择与会聚模块，设置于所述真空维持模块内，用于对所述极紫外波段辐射光进行波长选择以分离出单一波长的极紫外光，并对所述单一波长的极紫外光进行会聚；所述波长选择与会聚模块为多层膜曲面反射镜7； 光电转换模块，设置于所述真空维持模块内，用于接收经会聚的单一波长的极紫外光并将其转换为电流信号； 信号处理模块，与所述光电转换模块连接，用于对所述电流信号进行采集和处理，以获得所述单一波长极紫外光的时域波形并计算其辐射能量。

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