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龙图腾网获悉联仕新材料(苏州)股份有限公司申请的专利基于氢氧化钾刻蚀清洁阶段使用的多面冲洗水槽结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121096939B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511631516.0，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权基于氢氧化钾刻蚀清洁阶段使用的多面冲洗水槽结构是由徐姗;孙建东;王琴;刘海丰设计研发完成，并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于氢氧化钾刻蚀清洁阶段使用的多面冲洗水槽结构在说明书摘要公布了：本发明公开了基于氢氧化钾刻蚀清洁阶段使用的多面冲洗水槽结构，涉及晶圆刻蚀清洗技术领域，具体包括清洗箱和箱门，清洗箱的一侧安装有箱门，清洗箱内开设有旋转喷洗腔和浸泡腔，清洗箱内安装有伸缩控制组件；本发明是通过集成垂直浸泡腔与横向旋转喷洗腔的紧凑设计，结合翻转放置机构与伸缩控制组件的自动化协同，实现晶圆从垂直浸泡到水平冲洗的高效姿态切换，在动态冲洗机制中，条形传送组件与摆动喷头的联动作用驱动晶圆旋转，配合多角度喷淋，彻底消除表面残留物清洗盲区。

本发明授权基于氢氧化钾刻蚀清洁阶段使用的多面冲洗水槽结构在权利要求书中公布了：1.基于氢氧化钾刻蚀清洁阶段使用的多面冲洗水槽结构，包括清洗箱1和箱门2，所述清洗箱1的一侧安装有箱门2，所述清洗箱1内开设有旋转喷洗腔3和浸泡腔4，其特征在于： 所述清洗箱1内安装有伸缩控制组件5，所述伸缩控制组件5内安装的电动推杆端部设置有翻转放置机构6，所述翻转放置机构6包括滑台601和放置板602，所述滑台601侧壁活动连接有单面转套603，所述单面转套603内固定连接有放置板602； 所述伸缩控制组件5上电动推杆端部与滑台601相固定，所述旋转喷洗腔3内安装有闭合架17，所述闭合架17上对称均匀安装有条形传送组件18，且条形传送组件18在闭合架17上垂直分布，所述旋转喷洗腔3内且位于条形传送组件18端部安装有晶圆送料组件19，所述旋转喷洗腔3内且位于条形传送组件18两侧对称安装有冲洗箱15，所述冲洗箱15上均匀活动连接有摆动喷头16； 所述翻转放置机构6还包括摆套604和双面转套605，所述滑台601内壁通过轴承转动连接有摆套604，且单面转套603的板面凸起与摆套604上通槽相抵接，所述滑台601上还活动连接有双面转套605，且双面转套605的一侧凸起与摆套604上通槽相抵接； 所述清洗箱1内且位于伸缩控制组件5侧通过螺栓固定有限位板7，所述限位板7上开设有限位槽8，所述双面转套605侧凸起与限位槽8相抵接； 所述清洗箱1上且位于旋转喷洗腔3顶部固定连接有传动箱20，所述清洗箱1内安装有清洗液净化组件21，且清洗液净化组件21内设置的箱体通过连通管与浸泡腔4相连通。

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