湖北玖恩智能科技有限公司王洋华获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北玖恩智能科技有限公司申请的专利一种基于表面钝化阻隔层的高温氢气GETTER装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121137509B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511701160.3，技术领域涉及：C23C8/14；该发明授权一种基于表面钝化阻隔层的高温氢气GETTER装置是由王洋华;向鑫;王贤枝;蔡文亮;詹明;熊宏琳设计研发完成，并于2025-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于表面钝化阻隔层的高温氢气GETTER装置在说明书摘要公布了：本发明属于气体纯化技术领域，具体涉及一种基于表面钝化阻隔层的高温氢气GETTER装置。该装置内部承压的金属构件表面具有通过高温氧化预处理形成的致密Cr2O3钝化阻隔层，厚度为0.5‑5μm。预处理工艺包括：表面精整使粗糙度Ra≤0.4μm，在真空度≤10‑3mbar或露点≤‑40℃的惰性气氛下，以5‑10℃min升温至850‑1050℃，保温1‑4小时，再以≤5℃min冷却至200℃以下。装置还包含多级吹扫系统，采用均匀流道设计并使用甲烷含量≤0.1ppb的超高纯氢气作为吹扫气。本发明从根本上阻隔了氢渗透路径，在600℃、10bar的氢气环境中能将出口甲烷含量稳定控制在1ppb以下，显著提高了设备抗氢蚀能力和使用寿命，适用于半导体制造、新能源等对氢气纯度要求极高的领域。
本发明授权一种基于表面钝化阻隔层的高温氢气GETTER装置在权利要求书中公布了：1.一种用于氢气GETTER装置的内部承压的金属构件的表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：对金属构件进行表面精整处理，使表面粗糙度Ra≤0.4μm；在真空度≤10-3mbar或露点≤-40℃的惰性气氛保护下；以5-10℃min的速率程序升温至850-1050℃；保温1-4小时；以≤5℃min的速率控制冷却至200℃以下；其中，通过具有高温氧化预处理在所述金属构件的表面形成的致密钝化阻隔层1，所述钝化阻隔层1主要由铬氧化物Cr2O3组成，厚度为0.5-5μm；所述金属构件为含铬量不低于15wt%的铁基合金或镍基合金。
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