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龙图腾网获悉西安邮电大学;陕西西柚共创电子有限公司;无锡地心科技有限公司申请的专利用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121171907B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511714371.0，技术领域涉及：H10W72/00；该发明授权用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法是由严学文;越岗;许云飞;程一曼;杨江维设计研发完成，并于2025-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体技术领域，公开了一种用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法，其中，一种用于混合键合设备的振动抑制装置，包括：水平振动抑制机构，其包括中空连接组件、水平限制组件、轴向连接组件、圆周移动组件以及水平振动抑制组件；轴向振动抑制机构，其包括轴向振动抑制组件；本发明通过在主传动轴和键合端头之间增设了水平振动抑制机构和轴向振动抑制机构，可以根据主传动轴的移动信号，通过水平振动抑制组件产生相反的振动应力，配合轴向振动抑制机构，抑制和消耗振动应力所产生的能量和影响，轴向振动抑制机构可在此过程中对键合端头上的气压吸附结构所产生的负压进行适应调节。

本发明授权用于混合键合设备的振动抑制装置及混合键合方法在权利要求书中公布了：1.一种用于混合键合设备的振动抑制装置，其特征在于，包括： 水平振动抑制机构2，所述水平振动抑制机构2连接在混合键合设备的主传动轴1的一端； 所述水平振动抑制机构2包括中空连接组件、连接在中空连接组件内壁上的水平限制组件、连接在水平限制组件上的轴向连接组件、连接在中空连接组件内壁上的圆周移动组件以及连接在圆周移动组件上的水平振动抑制组件，所述水平振动抑制组件的输出端与轴向连接组件活动连接，所述中空连接组件与主传动轴1同轴连接，所述水平限制组件用于限制轴向连接组件仅能于水平面内移动，所述圆周移动组件用于驱使水平振动抑制组件绕中空连接组件的竖向中轴线转动设定角度，所述水平振动抑制组件用于向轴向连接组件施加设定方向的振动应力； 轴向振动抑制机构3，所述轴向振动抑制机构3连接在轴向连接组件和混合键合设备的键合端头4之间，所述轴向振动抑制机构3包括轴向振动抑制组件，所述轴向振动抑制组件用于调节传递至混合键合设备的键合端头4上的轴向振动应力； 所述中空连接组件包括中空罩体201以及设于中空罩体201下端中心位置处的通孔214； 所述水平限制组件包括若干个等距连接在中空罩体201内壁上的铰接架一202、铰接在铰接架一202上的多节伸缩杆203以及铰接在多节伸缩杆203另一端的铰接架二205，所述多节伸缩杆203的两端均仅能够水平转动； 所述圆周移动组件包括固定连接在中空罩体201内壁上得到齿圈206、两个对称滑动连接在齿圈206上的环形滑块207、固定连接在环形滑块207上的U形架体一208、固定连接在U形架体一208上的驱动电机209、连接在驱动电机209输出轴端的传动轴以及连接在传动轴上的齿轮210； 所述水平振动抑制组件包括U形架体二211、固定连接在U形架体二211上的振动机构212以及固定连接在振动机构212输出端上的C形滑块； 所述轴向振动抑制组件包括连接轴二301、设于连接轴二301内的方形滑槽、滑动连接在方形滑槽内的方形滑块302、固定连接在方形滑块302上的连接轴三303以及连接在方形滑块302下端面和方形滑槽内壁之间的弹簧306。

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