山东大学深圳研究院陶继方获国家专利权
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龙图腾网获悉山东大学深圳研究院申请的专利一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121174314B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511687419.3，技术领域涉及：H05B3/02；该发明授权一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法是由陶继方;田伟;林敬华;李岩设计研发完成，并于2025-11-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明涉及一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法，属于MEMS技术领域。加热器包括：硅衬底；六面膜区，形成于硅衬底的内部，通过支撑梁与硅衬底连接；隔热腔体，由硅衬底的顶部向内形成的空腔，将六面膜区与硅衬底隔离；六面膜区表面设置有加热电阻，加热电阻通过引线连接有电极，引线设置于支撑梁表面，电极设置于硅衬底表面。本发明通过110型硅片的各向异性腐蚀，形成缓和斜面三维凹槽并进行加热器制作，解决平面型加热器效率低及现有三维型因陡峭斜面导致的加工与可靠性问题。
本发明授权一种高加热效率的MEMS加热器及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种高加热效率的MEMS加热器，其特征在于，包括： 110型硅衬底； 六面膜区，形成于硅衬底的内部，通过支撑梁与硅衬底连接，以xyz三维坐标轴进行说明，六面膜区在xy平面的投影图形为六边形；六面膜区在xz平面的投影图形为矩形，且矩形对应的六面膜区部分范围内存在折痕，折痕跟六边形的侧边及部分中线组成等腰梯形；六面膜区在yz平面的投影图形为等腰三角形； 隔热腔体，由硅衬底的顶部向内形成的空腔，将六面膜区与硅衬底隔离； 六面膜区表面设置有加热电阻，加热电阻通过引线连接有电极，引线设置于支撑梁表面，电极设置于硅衬底表面。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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