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龙图腾网获悉中国科学院长春光学精密机械与物理研究所申请的专利一种光栅干涉测量装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121185186B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511741273.6，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种光栅干涉测量装置是由李文昊;周文渊;余先宝;孙宇佳;刘兆武设计研发完成，并于2025-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光栅干涉测量装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种光栅干涉测量装置，包括光源单元，用于输出第一偏振激光和第二偏振激光；读数头单元，包括第一光学变换单元和第一光电探测器，第二偏振激光作为参考光经过第一光学变换单元后射入第一光电探测器；第一偏振激光作为测量光返回第一光学变换单元，并射入第一光电探测器；角度自补偿单元，包括第一光学组件和光栅，第一光学组件接收从第一光学变换单元射出的第一偏振激光并以第一角度射入光栅，经光栅衍射的1级衍射光在第一光学组件和光栅之间多次往复作用后沿原光路返回，作为测量光射入第一光电探测器。本申请旨在构建一种适用于高刻线密度光栅的光栅干涉测量系统，能够在存在大角度偏差的情况下有效抑制相干光分离现象。

本发明授权一种光栅干涉测量装置在权利要求书中公布了：1.一种光栅干涉测量装置，其特征在于，包括： 光源单元，用于输出至少一束垂直正交偏振的差频激光，所述差频激光包括第一偏振激光和第二偏振激光，所述第一偏振激光具有第一频率，所述第二偏振激光具有第二频率，所述第一频率与所述第二频率不同，所述第一偏振激光为水平偏振，所述第二偏振激光为垂直偏振； 读数头单元，包括第一光学变换单元和第一光电探测器，所述第二偏振激光作为参考光经过所述第一光学变换单元后射入所述第一光电探测器；所述第一偏振激光从所述第一光学变换单元射出后对目标物进行测量，作为测量光返回所述第一光学变换单元，并射入所述第一光电探测器，与所述参考光干涉以对目标物的偏移进行测量； 角度自补偿单元，包括第一光学组件和光栅，所述第一光学组件接收从所述第一光学变换单元射出的所述第一偏振激光并以第一角度射入所述光栅，经所述光栅衍射的1级衍射光在所述第一光学组件和所述光栅之间多次往复作用后沿原光路返回，作为所述测量光射入所述第一光电探测器； 所述第一光学组件包括：第三平面反射镜、第一角锥棱镜以及第四平面反射镜；其中，从所述第一光学变换单元射出的所述第一偏振激光经所述第三平面反射镜以第一角度射入所述光栅，产生第一1级衍射光，所述第一1级衍射光经所述第一角锥棱镜作用后再次与所述光栅作用后产生第二1级衍射光，所述第二1级衍射光经所述第四平面反射镜作用后原路返回，并与所述光栅作用产生第三1级衍射光和第四1级衍射光，所述第四1级衍射光经所述第三平面反射镜原路返回形成所述测量光； 所述读数头单元还包括第二光学变换单元和第二光电探测器，所述第二偏振激光作为参考光经过所述第二光学变换单元后射入所述第二光电探测器；所述第一偏振激光从所述第二光学变换单元射出后对目标物进行测量，作为测量光返回所述第二光学变换单元，并射入所述第二光电探测器，与所述参考光干涉以对目标物的偏移进行测量； 所述角度自补偿单元还包括第二光学组件，第二光学组件接收从所述第二光学变换单元射出的所述第一偏振激光并以第一角度射入所述光栅，经所述光栅衍射的1级衍射光在所述第二光学组件和所述光栅之间多次往复作用后沿原光路返回，作为所述测量光射入所述第二光电探测器。

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