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龙图腾网获悉华芯极光(上海)科技有限公司申请的专利一种激光等离子体极紫外光源离子碎屑测量装置与方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121218424B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511395117.9，技术领域涉及：H05H1/00；该发明授权一种激光等离子体极紫外光源离子碎屑测量装置与方法是由林楠设计研发完成，并于2025-09-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光等离子体极紫外光源离子碎屑测量装置与方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种激光等离子体极紫外光源离子碎屑测量装置与方法，涉及等离子体诊断技术领域，包括：信号处理装置，与所述离子收集装置连接，用于对所述电信号进行处理，以得到处理后的信号；数据采集装置，用于采集处理后的信号；计算装置，与所述数据采集装置连接，用于将采集到的信号转换为离子动能分布谱和电荷量信息；调节机构，用于实现所述离子碎屑测量系统与等离子体发射中心的对准；电压源，用于为所述能量筛选装置提供偏置电压。本发明改进了原先对离子碎屑测量的缺陷，可更深入研究极紫外光源系统里离子碎屑的动能分布及电荷态分布。

本发明授权一种激光等离子体极紫外光源离子碎屑测量装置与方法在权利要求书中公布了：1.一种激光等离子体极紫外光源离子碎屑测量装置，其特征在于，包括： 真空腔，其内部设有用于产生等离子体的靶材与靶台组件； 真空泵组，与所述真空腔连接，用于维持腔室真空度； 激光器，用于产生驱动激光； 聚焦光学组件，用于将所述驱动激光聚焦后照射于所述靶材上以产生等离子体及离子碎屑； 离子碎屑测量系统，通过接口与所述真空腔连接，用于接收并检测从等离子体产生的离子碎屑： 能量筛选装置，用于对入射的离子进行能量筛选和电荷态分析； 离子收集装置，用于接收通过所述能量筛选装置的离子并将其携带的电荷转换为电信号； 信号处理装置，与所述离子收集装置连接，用于对所述电信号进行处理，以得到处理后的信号； 数据采集装置，用于采集处理后的信号； 计算装置，与所述数据采集装置连接，用于将采集到的信号转换为离子动能分布谱和电荷量信息； 调节机构，用于实现所述离子碎屑测量系统与等离子体发射中心的对准； 电压源，用于为所述能量筛选装置提供偏置电压；所述能量筛选装置包括沿离子飞行方向依次平行设置的至少三级栅网；其中，第一级栅网为接地屏蔽栅，用于建立稳定的电场入口边界并提供零电位参考，以减少等离子体膨胀初始阶段对电场分布的扰动；第二级栅网为减速栅极，连接至所述电压源，用于接收可扫描的负偏压以形成静电势垒，以对入射离子进行动能筛选；第三级栅网为抑制栅极，连接至所述电压源，用于接收固定的正偏压以抑制因离子撞击后续离子收集装置而产生的二次电子向后返流；各级栅网之间通过绝缘材料相互隔离，且栅网采用高透过率的金属网制成，以最小化对离子飞行路径的阻碍；所述电压源为直流电压源，所述电压源被配置为向所述能量筛选装置中的减速栅极提供0V至-1200V范围内可编程扫描的负偏压，通过逐步扫描所述负偏压实现对不同动能离子的连续筛选，以获得离子动能分布；所述电压源向所述能量筛选装置中的抑制栅极提供稳定的正偏压，以维持抑制二次电子返流。

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