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龙图腾网获悉上海隐冠半导体技术有限公司申请的专利一种位移装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121239052B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-03-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511794322.2，技术领域涉及：H02N2/02；该发明授权一种位移装置是由龚威;刘如德;卢从山;梁德志;李叶设计研发完成，并于2025-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种位移装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种位移装置，涉及半导体设备制造的技术领域。本申请提供的位移装置包括：动子、环绕于动子外的定子、驱动动子相对于定子沿第一方向运动的第一驱动机构以及驱动动子相对于定子沿第二方向运动的第二驱动机构；第一驱动机构和第二驱动机构均包括：第一壳体、套设于第一壳体外的第二壳体、驱动第一壳体相对于第二壳体运动的第三驱动单元、与第一壳体的一端直接或间接地相连接的第一解耦件以及与第一壳体的另一端直接或间接地相连接的第二解耦件。

本发明授权一种位移装置在权利要求书中公布了：1.一种位移装置，其特征在于，包括：动子、环绕于所述动子外的定子、驱动所述动子相对于所述定子沿第一方向运动的第一驱动机构以及驱动所述动子相对于所述定子沿第二方向运动的第二驱动机构； 所述第一驱动机构和所述第二驱动机构均包括：第一壳体、套设于所述第一壳体外的第二壳体、驱动所述第一壳体相对于所述第二壳体运动的第三驱动单元、与所述第一壳体的一端直接或间接地相连接的第一解耦件以及与所述第一壳体的另一端直接或间接地相连接的第二解耦件； 所述第一驱动机构的所述第一壳体被配置为：能够沿所述第一方向的正方向或负方向平移,所述第一驱动机构的所述第一解耦件和所述第二解耦件被配置为：能够基于所述第一驱动机构的所述第一壳体同步地沿所述第一方向的正方向或负方向平移； 所述第二驱动机构的所述第一壳体被配置为：能够沿所述第二方向的正方向或负方向平移，所述第二驱动机构的所述第一解耦件和所述第二解耦件被配置为：能够基于所述第二驱动机构的所述第一壳体同步地沿所述第二方向的正方向或负方向平移； 所述第一驱动机构和所述第二驱动机构均还包括：设于所述第一壳体的内部的第一压电驱动单元和第二压电驱动单元、分别与所述第一压电驱动单元和所述第二压电驱动单元相连接并提供预压力的预压结构； 所述第一解耦件和所述第二解耦件均与所述预压结构相连接，所述第一解耦件位于所述第一压电驱动单元处，所述第二解耦件位于所述第二压电驱动单元处。

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